[发明专利]用于监测微米的金属传感元结构在审

专利信息
申请号: 201711252031.6 申请日: 2017-12-01
公开(公告)号: CN109867256A 公开(公告)日: 2019-06-11
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 南京申特立华信息科技有限公司
主分类号: B81B1/00 分类号: B81B1/00;B81C1/00;C23C14/32;G01N27/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 210028 江苏省南京市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种用于金属结构疲劳裂纹监测的微米传感元,所述的微米传感元具有三层结构,底层为直接制备在基体材料上的绝缘层、中层为导电薄膜结构的传感层、顶层为封装保护传感层的保护层,传感元各层的厚度均在微米级,故称微米传感元;微米传感元的形状由置于基体材料上的模板来控制,覆盖金属结构疲劳危险部位;微米传感元的宽度根据实际需求进行调整,即传感层的宽度大于该金属结构临界疲劳裂纹长度。本发明通过合理设计微米传感元,基于电位监测的基本原理,在裂纹形成和扩展阶段进行电位检测,实现了对金属结构从塑性变形到疲劳裂纹萌生直至失稳断裂的疲劳损伤全程监测以及对结构多个关键位置的健康状态同时监测。
搜索关键词: 传感元 金属结构 疲劳裂纹 传感层 基体材料 监测 绝缘层 导电薄膜结构 电位监测 电位检测 封装保护 关键位置 健康状态 裂纹形成 疲劳损伤 全程监测 三层结构 实际需求 塑性变形 危险部位 直接制备 保护层 断裂的 微米级 顶层 失稳 疲劳 中层 金属 覆盖
【主权项】:
1. 一种用于金属结构疲劳裂纹监测的微米传感元,其特征在于,所述的微米传感元具 有三层结构,底层为直接制备在基体材料上的绝缘层,中层为导电薄膜结构的传感层,顶层 为封装保护传感层的保护层 ;各层的厚度均在微米级 ;微米传感元的形状由置于基体材料 上的模板来控制,微米传感元覆盖金属结构疲劳危险部位 ;微米传感元中传感层的宽度大 于该金属结构临界疲劳裂纹长度 ;所述的绝缘层是对基体材料表面进行绝缘化处理制得 : 对于纯铝或铝合金采用常规的阳极氧化工艺在其表面上制备 20 ~ 25 微米厚的 Al2O3 绝缘层 ;对于其他金属结构材料,采用离子镀膜技术在其表面上沉积 0.8 ~ 1 微米厚的绝缘膜或 采用磷化工艺在其表面制备 20 ~ 30 微米的磷化膜 ;所述的保护层是用以封闭处理传感层 的 704 有机硅胶薄层或利用离子镀技术沉积的 AlN 薄膜。
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