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[发明专利]仿生自复制微纳米机器人-CN202310791658.8在审
发明人：李爽;冯西桥 -专利权人：清华大学
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种仿生自复制微纳米机器人，包括多个非生命物质基本单元，每个非生命物质基本单元包括单元主体、第一物理作用结构、第二物理作用结构和第三物理作用结构，第一物理作用结构适于通过第一物理作用在散落有多个非生命物质基本单元的液体环境中掠夺非生命物质基本单元，第二物理作用结构适于通过第二物理作用使被掠夺的多个非生命物质基本单元组成的仿生自复制微纳米机器人保持组合状态，第三物理作用结构适于通过第三物理作用使两个仿生自复制微纳米机器人相互脱离。根据本发明实施例的仿生自复制微纳米机器人具有能够实现非生物型微纳米机器人的自复制等优点。
仿生复制纳米机器人

[发明专利]微型流路器件-CN201880037023.6有效
发明人：大场孝浩;若林彰;伊藤晃寿 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2018-06-07 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本发明的微型流路器件具有：流路单元，由沿厚度方向层叠而划定形成微型流路的多个流路部件构成，并且至少一个流路部件由弹性材料制成；及保持部件，与流路单元分体或一体设置，且将所述流路单元以沿厚度方向压缩的状态来保持。
微型器件

[发明专利]中空结构体及使用其的电子部件、负型感光性树脂组合物-CN202180087779.3在审
发明人：小山祐太朗;荒木齐 -专利权人：东丽株式会社
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本发明提供酸离子含量少、高温高湿条件下保存时的布线腐蚀少的中空结构体。本发明为从具有金属布线的基板的上表面起依次层叠有作为中空结构支撑材料的膜厚为5～30μm的有机膜(I)、和作为中空结构顶壁材料的膜厚为5～30μm的有机膜(II)的中空结构体，用下述离子溶出量的评价方法对所述有机膜(I)和所述有机膜(II)分别单独地进行评价时，有机膜(I)的离子溶出量和有机膜(II)的离子溶出量的合计为4000ppm以下。(离子溶出量的评价方法)将有机膜放入质量比为10倍量的纯水中，于100～121℃进行10～20小时热水萃取后，将萃取液的上清液作为检测液。向离子色谱分析装置导入检测液及目标离子的标准液，通过校正曲线法求得检测液中的甲酸离子、乙酸离子、丙酸离子和硫酸离子的浓度，将其合计换算为相对有机膜的质量而言的溶出离子质量，将换算而得的值作为离子溶出量。
中空结构使用电子部件感光性树脂组合

[发明专利]原子蒸汽单元、包括原子蒸汽单元的集成原子/光子器件和设备，以及用于制造原子蒸汽单元的方法-CN202310121479.3在审
发明人：摩根·米切尔;维托·乔瓦尼·卢西维罗;罗伯托·奥塞莱姆;贾科莫·科列利;安德烈亚·扎诺尼 -专利权人：光子科学研究所基金会;卡塔拉纳调查及高级研究学院;米兰综合工科大学;国家研究委员会
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于原子或分子光谱学、光泵浦和/或基于自旋的原子感测的原子蒸汽单元，该原子蒸汽单元包括宿留基板(101)以及在该宿留基板内限定的被激光写入该宿留基板中的埋置或非埋置腔室(102)，该埋置或非埋置腔室具有平面或三维几何形状并且用于容纳原子蒸汽。本发明还涉及一种集成原子/光子器件和设备，在两种情况下都包括本发明的原子蒸汽单元，以及本发明涉及一种用于制造本发明的原子蒸汽单元的方法。
原子蒸汽单元包括集成光子器件设备以及用于制造方法

[发明专利]一种三维石墨烯纳米纤维结构、其制备及转移方法-CN202210097846.6在审
发明人：陈佳宁;张骁晰;卡洛斯·安德烈斯·帕尔马·瓦格斯 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种三维石墨烯纳米纤维结构，所述三维石墨烯纳米纤维结构包括：基底、石墨烯纳米纤维。还提供了其制备及转移方法。制备方法包括绝缘基底制备、前驱体有机分子外延生长、紫外光脱卤和高温热转化。该方法可以直接在超高真空环境中利用热蒸发的方法直接合成三维纳米线结构，并利用紫外光和高温热转化提升纳米线的导电性。相比已有的制备纳米线的方法，该方法不仅效率高、成本低，合成的纳米线的尺度也非常之高。该方法得到的纳米线具有石墨烯结构，其导电性接近金属纳米线。同时该方法得到的纳米线非常容易转移至其他目标基底，充分拓展了应用场景。
一种三维石墨纳米纤维结构制备转移方法

[发明专利]一种红外热辐射探测器及制作方法-CN202310132870.3有效
发明人：王子栋;孔庆凯;王清坤;辛宏伟 -专利权人：北京中科海芯科技有限公司
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本发明公开一种红外热辐射探测器及制作方法，涉及红外探测技术领域，以解决现有微桥结构的热敏感层有效探测面积比较小，且桥腿力学结构不稳定的问题。所述红外热辐射探测器及制作方法包括：衬底、热敏探测层以及支撑桥腿，所述支撑桥腿形成在所述衬底与所述热敏探测层之间，所述衬底与所述热敏探测层之间形成谐振腔；所述红外热辐射探测器还包括与所述热敏探测层连接的两个导电电极，每个所述导电电极分别与所述衬底的上表面、所述支撑桥腿的外表面和所述热敏探测层的背光面以及侧表面接触。所述制作方法用于制作红外热辐射探测器。
一种红外热辐射探测器制作方法

[发明专利]一种胖瘦条纹结构及其制备方法-CN202110466010.4有效
发明人：张成云;胡琦;郭浩民;林茹 -专利权人：广州大学
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种胖瘦条纹结构及其制备方法，该制备方法，包括：在金膜样品的金膜上表面覆盖一玻片，将金膜样品放置在移动平台，飞秒激光微加工系统输出的飞秒脉冲激光聚焦到金膜样品，控制移动平台在X‑Y‑Z轴三个方向移动，进行二维移动线扫描，在金膜上制备微纳周期结构，即“胖瘦条纹”结构。本发明通过控制玻片与金膜的接触夹角可以诱导出不同角度的倾斜分布的胖瘦周期条纹，本发明的加工方法具有方便、快速、人为可控等特点。
一种胖瘦条纹结构及其制备方法

[发明专利]一种二轴对称多孔腔状阵列结构及其制备方法-CN202010053457.4有效
发明人：张永军;王雅新;赵晓宇;温嘉红 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及纳米复合材料微加工技术领域，公开了一种二轴对称多孔腔状阵列结构及其制备方法。该多孔腔状阵列结构包括若干金纳米碗，每个所述金纳米碗周围均均匀分布有6个金纳米碗；所述每个所述金纳米碗的侧面均设有若干4个小孔；所述小孔设于每个金纳米碗上与另一个金纳米碗的邻近处，且每个金纳米碗上的4个小孔两两相对；彼此相邻的两个所述金纳米碗，其邻近处均设有小孔或均不设有小孔所述多孔腔状阵列结构呈二轴对称。本发明的多孔腔状阵列结构扩大了热点范围，并呈二轴对称，有利于纳米结构阵列的应用。
一种轴对称多孔阵列结构及其制备方法

[发明专利]晶圆及其在喷墨器件中的应用和制备方法-CN202310078640.3在审
发明人：王文浩 -专利权人：苏州众行汇创科技有限公司
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了晶圆及其在喷墨器件中的应用和制备方法。晶圆的表面设有一贯穿通道；贯穿通道从晶圆的第一表面贯通至晶圆的第二表面，且沿晶圆的厚度方向设有第一通道和第二通道；其中，第一通道的横截面为矩形或梯形；自第一通道至所述第二表面，第二通道的横截面为等宽或由窄变宽的形状。本发明晶圆的通道的边缘形貌整齐，器件性能稳定，也可降低成本。
及其喷墨器件中的应用制备方法

[发明专利]一种阶梯型微纳米尺度槽道模型及其制备方法-CN201911019667.5有效
发明人：邓曙艳 -专利权人：广东石油化工学院
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种阶梯型微纳米尺度槽道模型及其制备方法，具体涉及微纳米尺度槽道技术领域，包括基板，所述基板底部表面设有进入孔，所述进入孔一侧设有出口孔，所述基板表面设有第一微槽道滞留腔，所述进入孔贯穿基板且延伸至第一微槽道滞留腔内部，所述第一微槽道滞留腔顶部设有开口，所述第一微槽道滞留腔一侧设有微槽道区别区。本发明通过对第一纳米分割槽道和第二纳米分割槽道内部的物料流动速度进行分类测量，从而形成对比，同时采用控制少量的物料通过调节孔排出，最终得出在物料泄露的情况下第一微槽道测量区和第二微槽道测量区监测到的流动速度，提升对微纳米尺度孔隙内流动特性的检测力度，提高流动速度测量的多样性。
一种阶梯纳米尺度模型及其制备方法

[发明专利]具有歧管的微流体装置-CN201680087191.7有效
发明人：陈健华;D·A·穆雷;M·W·坎比;S-I·蔡 -专利权人：惠普发展公司;有限责任合伙企业
申请日： 2016-07-26 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：一种装置包括：包括微流体装置的芯片；形成在芯片周围的聚合物衬底；以及单独的流体歧管，其在芯片上方附接到聚合物衬底并且与芯片位于衬底的同一侧上，所述歧管用于将流体递送到芯片。
具有歧管流体装置

[发明专利]使用微流体装置的多段式靶细胞富集-CN201680079601.3有效
发明人： A·A·S·巴加特;关国峰 -专利权人：明测生物医疗有限公司
申请日： 2016-01-28 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：一种微流体装置包括至少一个用于接收包含靶细胞和非靶细胞的样品的入口；第一螺旋通道部分，其具有中心区域的上游端和周边区域的下游端，上游端耦合到入口，第一螺旋通道部分设置成使得靶细胞和非靶细胞在下游端处占据不同流；第一废物出口，布置成在第一螺旋通道部分的下游端处与非靶细胞流耦合；连接通道部分，布置成在第一螺旋通道部分的下游端处与靶细胞流耦合；第二螺旋通道部分，具有周边区域的上游端和中心区域的下游端，第二通道部分的上游端耦合到连接通道部分，第二螺旋通道部分设置成使得靶细胞和非靶细胞在下游端处占据不同流；第二废物出口，布置成在第二螺旋通道部分的下游端处与非靶细胞流耦合；和样品出口，布置成在第二螺旋通道部分的下游端处与靶细胞流耦合。
使用流体装置段式靶细胞富集

[发明专利]抗震的MEMS致动器结构-CN201680075651.4有效
发明人：格拉尔多·莫拉比托;刘晓磊;王桂芹;罗曼·古铁雷斯;马修·恩格 -专利权人：麦斯卓微电子（南京）有限公司
申请日： 2016-11-04 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：公开了抗震MEMS结构。在一个实施方式中，用于MEMS装置的运动控制挠曲件包括：包括第一端部和第二端部的杆，其中杆沿其长度逐渐变细，使得杆在其中心处最宽并且在其端部处最薄；直接连接到杆的第一端部的第一铰链；以及直接连接到杆的第二端部的第二铰链。在另一实施方式中，用于MEMS装置的导电悬臂包括：弯曲的中心部分，其包括第一端部和第二端部，其中中心部分具有拐点；连接到中心部分的第一端部的第一根部；以及连接到中心部分的第二端部的第二根部。在又一个实施方式中，描述了用于MEMS装置的震动止动件。
抗震 mems 致动器结构

[发明专利]Ag/Ag2-CN202211453558.6在审
发明人：方靖淮;沈金祎;吴静 -专利权人：南通大学
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本发明属于拉曼光谱检测技术领域，公开了一种Ag/Ag2O/Ag纳米球阵列SERS基底、制备方法及应用。本发明在硅片上自组装排列出六角密排的聚苯乙烯(PS)球，蒸镀银，暴露在空气中自然氧化生成氧化层，再蒸镀银，形成均匀的三层纳米球阵列，得到Ag/Ag2O/Ag纳米球阵列SERS基底。通过对银层沉积厚度和底层银氧化时间的调控，可得到不同性能SERS基底。本发明提供的SERS基底可应用于检测芯片，实验结果表明，当R6G浓度低至10‑9M时，该SERS基底仍能检测出拉曼信号，说明其具有痕量检测的潜力。
ag base sub

[发明专利]基于垂直石墨烯的信号记录芯片及其制备方法和系统-CN202211368415.5在审
发明人：陈惠琄;孙天成;谢曦;詹昌源;刘铮杰 -专利权人：中山大学
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于垂直石墨烯的信号记录芯片及其制备方法和系统，其中芯片包括：玻璃基底；垂直石墨烯微电极阵列，设置在所述玻璃基底上；所述垂直石墨烯微电极阵列包括n个石墨烯电极，每个石墨烯电极对应一个电极通道，所述石墨烯电极用于与待测心肌细胞发生电学耦合，以采集待测心肌细胞的电位信号。本发明通过垂直石墨烯电极与待测心肌细胞发生电学耦合，能够实现非侵入式的高通量、长时间稳定测量心肌细胞电信号记录，为进一步监测细胞内动作电位的潜质做贡献。本发明可广泛应用于细胞信号监测技术领域。
基于垂直石墨信号记录芯片及其制备方法系统

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