[发明专利]一种零偏自校准MEMS陀螺仪及其零偏自校准方法有效
| 申请号： | 201711251192.3 | 申请日： | 2017-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN108253952B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 康苗苗;柴宏玉;王恪良;周博远;熊开利;权海洋 | 申请（专利权）人： | 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01C19/5776;G01C25/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 徐辉 |
| 地址： | 100076 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明针对全对称MEMS环陀螺零偏存在漂移以及多次上电零偏不一致的问题，提出了一种基于驱动/检测模态反转的MEMS陀螺零偏自校准方法，其特点在于：根据环陀螺的工作特性，以陀螺的动力学模型为基础，给出驱动模态和检测模态反转前后两种工作模式下零偏的变化规律，通过信号处理电路控制环陀螺在两种工作模式间切换；对相邻两种工作模式下的检测信号做差，最终实现MEMS环陀螺的零偏在线自校准。通过该方法，可有效地提取出零偏信号，抑制零偏漂移现象，提高MEMS环陀螺仪的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 校准 mems 陀螺仪 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种零偏自校准的MEMS陀螺仪，其特征在于，包括谐振环、信号处理模块和补偿模块；所述谐振环外侧沿周向顺时针均匀分布第一电极至第八电极；在第一模式，第一电极(1)和第五电极(5)为驱动模态的驱动电极，第三电极(3)和第七电极(7)为驱动模态的检测电极，第二电极(2)和第六电极(6)为检测模态的驱动电极，第四电极(4)和第八电极(8)为检测模态的检测电极；在第二模式，第二电极(2)和第六电极(6)为驱动模态的驱动电极，第四电极(4)和第八电极(8)是驱动模态的检测电极，第一电极(1)和第五电极(5)为检测模态的驱动电极，第三电极(3)和第七电极(7)为检测模态的检测电极；所述信号处理模块控制所述谐振环交替工作在第一模式和第二模式，在第一模式输出的角速度为A1，在第二模式输出的角速度为A2；所述补偿模块(44)输出两种模式的角速度差值A1‑A2作为陀螺仪检测的角速度信号。
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