[发明专利]一种图像传感器及其制备方法

摘要

本发明提供一种图像传感器及其制备方法，包括于所述衬底上形成感光元件阵列及位于所述感光元件阵列上的金属互连层；将所述衬底翻转，于各相邻感光元件之间形成隔离沟槽；于各感光元件上形成曲面镜，以提高各感光元件对光的吸收效率；填充所述隔离沟槽形成隔离结构，并于所述隔离结构及所述曲面镜上依次形成介电层、彩色滤光片阵列及微透镜阵列。本发明的图像传感器及其制备方法采用背照式图像传感器结构，在感光元件的受光面及光线的入射面设置曲面镜和微透镜，将入射光线汇聚到感光元件上，以此提高图像传感器中感光元件对光的吸收效率，进而提高图像传感器的光电转化效率，随机噪声和信噪比，最终提高图像传感器的成像质量。

主权项

一种图像传感器，其特征在于，所述图像传感器至少包括：感光元件阵列，用于将光信号转换为电信号；曲面镜阵列，形成于所述感光元件阵列的受光面上，其中，各曲面镜朝入射光线的方向凸起，用于对照射到各感光元件上的光线进行聚光，以提高各感光元件对光的吸收率；隔离结构，形成于各相邻感光元件之间；介电层，形成于所述曲面镜阵列及所述隔离结构上；彩色滤光片阵列，形成于所述介电层的受光面上，各彩色滤光片与各感光元件的位置一一对应，用于对所述入射光线进行滤光；微透镜阵列，形成于所述彩色滤光片阵列的受光面上，各微透镜朝所述入射光线的方向凸起，用于对所述入射光线进行聚光。