[发明专利]一种低温连接的耐高温封装连接材料及其封装连接工艺在审
| 申请号: | 201711054114.4 | 申请日: | 2017-10-31 |
| 公开(公告)号: | CN107833863A | 公开(公告)日: | 2018-03-23 |
| 发明(设计)人: | 马迎春 | 申请(专利权)人: | 马迎春 |
| 主分类号: | H01L23/29 | 分类号: | H01L23/29;H05K3/34;H01L21/60 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 315301 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 一种低温连接的耐高温封装连接材料及其封装连接工艺,属于微电子封装技术领域。连接材料由锡粉末和镍粉末均匀混合组成,锡粉含量原子百分比为36.7~57%,余量为镍粉;锡粉平均粒径5~30μm,镍粉平均粒径5~20μm;混合粉末与有机溶剂搅拌、混合成均匀糊状或膏状。本发明工艺是先将基板超生波振荡清洗,取出后冷风吹干;然后用丝网将连接材料印刷于基板焊接面上,将芯片与连接材料对齐、组装成芯片/连接材料/基板连接结构,固定后放入真空炉或气氛炉中;最后快速升温至300~340℃,并保温1h~5h,保温结束冷却、取出实现连接。本发明工艺可使芯片和基板实现低温、小压力封装,且封装后的接头热稳定性好,耐温能力强。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 低温 连接 耐高温 封装 材料 及其 工艺 | ||
【主权项】:
一种低温连接的耐高温封装连接材料,其特征是在于:材料由金属锡粉末和镍粉末均匀混合组成,混合粉末中,锡粉含量原子百分比为36.7~57%,余量为镍粉,并将混合粉末制成均匀糊状或膏状用于耐高温封装连接。
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