[发明专利]中介基板及其制法有效
申请号: | 201710790854.8 | 申请日: | 2017-09-05 |
公开(公告)号: | CN109427725B | 公开(公告)日: | 2021-04-27 |
发明(设计)人: | 许诗滨;许哲玮;张景捷;曾昭崇 | 申请(专利权)人: | 恒劲科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L21/48 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 张福根;冯志云 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种中介基板及其制法,通过于一基板本体上形成包含有含磷化合物的绝缘保护层,以当该中介基板的厚度极薄时,包含有含磷化合物的绝缘保护层能提供该中介基板所需的韧性,因而当该中介基板发生应力收缩或结构不对称时,不会产生翘曲状况。 | ||
搜索关键词: | 中介 及其 制法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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