[发明专利]掺杂源供应管路及化学气相沉积系统

摘要

本发明揭示了掺杂源供应管路及化学气相沉积系统，掺杂源供应管路包括载气源以及用于盛装有机金属源的水浴系统，还包括载气输送管路，连接所述载气和水浴系统，以将载气通入到有机金属源内；有机金属源气体输送管路，使水浴系统与反应腔及废弃处理系统连接，并且其与反应腔连接的第一支路上有且仅有一个第一质量流量控制器；稀释管路，连接载气源和有机金属源气体输送管路的主管路，用于对主管路中掺杂源气体的浓度进行稀释。本发明只需要一个质量流量控制器就能够满足掺杂源气体浓度大跨度的调整需求，省去了多个质量流量控制器带来的管路成本，并且输出区域的管路结构更加简洁；同时，浓度的调整更加便利。

主权项

1.掺杂源供应管路，包括载气源（1），其特征在于：还包括主气路（4）、稀释管路（5）、有机金属源供应管路（2）和/或氮气供应管路（6），所述主气路（4）连接所述稀释管路（5）、有机金属源供应管路（2）和/或氮气供应管路（6），且所述主气路（4）通过一个第一质量流量控制器（411）控制输入到反应腔的掺杂源供应量，所述稀释管路（5）和有机金属源供应管路（2）分别连接载气源（1）。