[发明专利]阵列基板的制作方法、阵列基板及液晶面板在审
申请号: | 201710697585.0 | 申请日: | 2017-08-15 |
公开(公告)号: | CN107316875A | 公开(公告)日: | 2017-11-03 |
发明(设计)人: | 甘启明 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1362 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人: | 郝传鑫,熊永强 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公布了一种阵列基板的制作方法,包括在基板上沉积第一金属层,利用第一光罩图案化所述第一金属层形成相互绝缘的栅极与公共电极;在所述基板上沉积栅极绝缘层,所述栅极绝缘层覆盖所述栅极与所述公共电极;在所述栅极绝缘层上依次沉积半导体层和第二金属层,图案化所述半导体层形成有源层,利用第二光罩图案化所述第二金属层形成源极、漏极及像素电极,所述像素电极在所述基板上的垂直投影与所述公共电极不相交。本发明还公布了一种阵列基板与液晶面板。省略了单独形成公共电极与像素电极的光罩曝光步骤,从而减少了一次光罩曝光步骤,简化了IPS模式液晶面板的阵列基板的制作过程,从而降低了阵列基板及液晶显示器的制作成本。 | ||
搜索关键词: | 阵列 制作方法 液晶面板 | ||
【主权项】:
一种阵列基板的制作方法,其特征在于,包括:在基板上沉积第一金属层,利用第一光罩图案化所述第一金属层形成相互绝缘的栅极与公共电极;在所述基板上沉积栅极绝缘层,所述栅极绝缘层覆盖所述栅极与所述公共电极;在所述栅极绝缘层上依次沉积半导体层和第二金属层,图案化所述半导体层形成有源层,利用第二光罩图案化所述第二金属层形成源极、漏极及像素电极,所述像素电极在所述基板上的垂直投影与所述公共电极不相交。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司,未经深圳市华星光电半导体显示技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710697585.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:阵列基板及其制作方法、显示装置
- 下一篇:像素阵列基板
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的