[发明专利]传片监测系统及传片监测方法、半导体加工设备

摘要

本发明提供一种传片监测系统，用于监测机械手上的晶片是否发生偏移，包括对射传感器和移动装置，对射传感器包括：发射极和接收极；移动装置用于驱动发射极和接收极至少一个移动，且在移动过程中发射极和接收极之间可进行信号的发送和接收；当晶片静止待检测时，发射极和接收极分别位于晶片所在平面的上侧和下侧；将接收极接收到的信息与预设标准信息进行比较，以判断晶片是否发生偏移；预设标准信息是指在晶片未发生偏移的情况下，在发射极和/或接收极移动过程中，接收极接收到的信息。本发明还提供一种传片监测方法和半导体加工设备。本发明可以避免在晶片偏移量过大时进行监测而发生碎片或者撞片的问题，故，本发明可以提高监测过程的可靠性。

主权项

1.一种传片监测系统，用于监测机械手上的晶片是否发生偏移，其特征在于，包括对射传感器和移动装置，所述对射传感器包括：发射极和接收极；所述移动装置用于驱动所述发射极和所述接收极至少一个移动，且在移动过程中所述发射极和所述接收极之间可进行信号的发送和接收；当所述晶片静止待检测时，所述发射极和所述接收极分别位于所述晶片所在平面的上侧和下侧；将所述接收极接收到的信息与预设标准信息进行比较，以判断所述晶片是否发生偏移；所述预设标准信息是指在晶片未发生偏移的情况下，在所述发射极和/或所述接收极移动过程中，所述接收极接收到的信息。