[发明专利]一种IC封装用载板及其封装工艺在审
| 申请号: | 201710256706.8 | 申请日: | 2017-04-19 |
| 公开(公告)号: | CN107146774A | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
| 发明(设计)人: | 何忠亮;郭秋卫;丁华;朱争鸣 | 申请(专利权)人: | 深圳市环基实业有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/14 | 分类号: | H01L23/14;H01L21/48 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518125 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明提出了一种IC封装用载板及其封装工艺,工艺过程包括(a)在合金铝基片上真空镀铜,(b)在铜上涂覆感光材料,(c)在感光材料上进行图形转移,(d)在所需图形的非覆盖感光材料区电镀底电极,(e)在底电极上继续电镀铜,(f)在电镀铜上电镀顶电极,(g)去除感光材料,(h)在电镀铜层修饰有机金属转化膜,(i)成型得到所需外形的载板,后固晶封装,再去除合金铝层及种子铜层完成封装。本发明可解决线宽设计,布线设计以及孤岛电极设计自由性差的缺点,可显著增加集成电路封装I/0数,另外,通过对电极铜表面进行黑氧化或棕氧化,增强了与封装树脂材料的结合力,提升了封装散热能力与封装电路可靠性。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 ic 封装 用载板 及其 工艺 | ||
【主权项】:
一种IC封装用载板,其特征在于:包括有一合金铝基片,所述合金铝基片上依次设置有种子铜层、底电极、电镀铜层、顶电极。
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