[发明专利]用于氮化物外延生长的叠层基板及其形成方法在审
| 申请号： | 201710122936.5 | 申请日： | 2017-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN106835269A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 闫发旺;张峰;赵倍吉;谢杰 | 申请（专利权）人： | 上海新傲科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/18 | 分类号： | C30B25/18;C30B29/38;C30B29/40;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 201821 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于氮化物外延生长的叠层基板及其形成方法，所述叠层基板包括至少一组堆叠结构，所述堆叠结构包括氮化铪层和氮化铝层，所述氮化铪层和氮化铝层相互堆叠；所述叠层基板具有六方晶体结构。所述叠层基板适于作为高温生长氮化物外延层的基底，形成高质量的氮化物外延层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 氮化物 外延 生长 叠层基板 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种用于氮化物外延生长的叠层基板，其特征在于，包括：至少一组堆叠结构，所述堆叠结构包括氮化铪层和氮化铝层，所述氮化铪层和氮化铝层相互堆叠；所述叠层基板具有六方晶体结构。
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