[发明专利]光调制器元件及其制造方法以及具备其的光调制模块有效
| 申请号： | 201710097803.7 | 申请日： | 2017-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN107121794B | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 堀口裕一郎;西川智志;秋山浩一;林周作;外间洋平;榎健太郎;田中俊行 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02F1/03 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李今子 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供光调制器元件、具备该光调制器元件的光调制模块以及光调制器元件的制造方法，所述光调制器元件使芯片面积比以往缩小。光调制器元件具备第1、第2光调制器、光输入部以及分支耦合器，第1、第2光调制器分别具备：一组马赫－曾德尔型波导路；第1光耦合器，使来自分支耦合器的光分别分支到一组马赫－曾德尔型波导路；以及第2光耦合器，合成分别通过一组马赫－曾德尔型波导路的光，在第1、第2光调制器中，第1光调制器的一组马赫－曾德尔型波导路的光的行进方向与第2光调制器的一组马赫－曾德尔型波导路的光的行进方向被配置成相互带有角度。 | ||
| 搜索关键词： | 调制器 元件 及其 制造 方法 以及 具备 调制 模块 | ||
【主权项】：
一种光调制器元件，具备：第1、第2光调制器，形成在半导体基板上；光输入部，光被输入到所述光输入部；以及分支耦合器，使输入到所述光输入部的光分别分支到所述第1、第2光调制器，所述第1、第2光调制器分别具备：一组马赫－曾德尔型波导路；第1光耦合器，使来自所述分支耦合器的光分别分支到所述一组马赫－曾德尔型波导路；以及第2光耦合器，合成分别通过所述一组马赫－曾德尔型波导路的光，在所述第1、第2光调制器中，所述第1光调制器的所述一组马赫－曾德尔型波导路的光的行进方向与所述第2光调制器的所述一组马赫－曾德尔型波导路的光的行进方向被配置成相互带有角度。
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- 基于薄膜铌酸锂的光频率梳生成装置及方法-202310549389.4
- 冯素春;石永岗 - 北京交通大学
- 2023-05-16 - 2023-08-15 - G02F1/035
- 本发明提供一种基于薄膜铌酸锂的光频率梳生成装置及方法，属于光频率梳技术领域，包括泵浦单元，提供单频/多频激光；微波调制单元，用于对正常色散双微环谐振腔单元进行电光调制产生调制边带；正常色散双微环谐振腔单元，通过利用正常色散、电光效应和三阶非线性效应产生光频率梳。本发明将单频/多频激光耦合到基于薄膜铌酸锂的正常色散双微环谐振腔单元，通过正常色散、电光效应和三阶非线性效应联合作用实现光频率梳频谱展宽和频谱包络平坦化。
- 光调制器-201880054814.X
- 岩塚信治;远藤真;佐佐木权治 - TDK株式会社
- 2018-07-31 - 2023-08-11 - G02F1/035
- 本发明提供电极损耗低且高频特性良好并且能够通过向光波导施加的电场效率的提高来进行低电压驱动的光调制器。光调制器(100)具备：互相相邻的第一和第二光波导(10a、10b)，其由在基板(1)上脊状地形成的电光材料膜构成；缓冲层(4)，其至少覆盖第一和第二光波导(10a、10b)的上表面；以及第一和第二信号电极(7a、7b)，其设置于缓冲层(4)的上方。第一和第二信号电极(7a、7b)分别具有：经由缓冲层(4)而分别与第一和第二光波导(10a、10b)相对的第一和第二下层部(7a
- 一种铌酸锂相位调制器-202310583609.5
- 张思远;王安廷;张家琅;江新华 - 中国科学技术大学
- 2023-05-19 - 2023-08-08 - G02F1/035
- 本发明提供了一种铌酸锂相位调制器，该铌酸锂相位调制器包括：衬底；在第一方向上依次位于衬底一侧的第一电极、第一隔离层、铌酸锂波导、第二隔离层和第二电极，第一方向垂直于所述衬底所在平面；铌酸锂波导在第一隔离层面向第二隔离层的一侧弯曲设置。该铌酸锂相位调制器利用在第一方向上设置两个电极产生垂直分布的电场，改变铌酸锂波导的折射率，进而调制在铌酸锂波导中传输的光，避免占用水平方向的空间；同时铌酸锂波导弯曲设置，可以在水平方向上的有限面积内增加铌酸锂波导的长度，进而增加光被调制的有效长度，从而在有限面积内使铌酸锂相位调制器达到较高的调制深度；并且无需采用谐振腔设计，避免调制出的光学频率存在明显的零级信号。
- 光波导元件、光调制器、光调制模块、及光发送装置-202180083597.9
- 宫崎德一;菅又徹 - 住友大阪水泥股份有限公司
- 2021-12-23 - 2023-08-08 - G02F1/035
- 在具有凸状光波导与信号电极交叉的多个交叉部的光波导元件中，有效地抑制交叉部的干扰调制的发生，实现良好的动作特性。光波导元件具有：基板，形成有光波导；中间层，形成在基板上；及信号电极和接地电极，形成在中间层的上方，上述光波导由在基板上延伸的凸部构成，上述信号电极具有作用部和交叉部，所述作用部沿着光波导延伸而对在该光波导中传播的光波进行控制，所述交叉部在光波导的上方与所述光波导交叉，上述中间层的交叉部处的厚度形成得比上述中间层的作用部处的厚度厚。
- 光波导元件、使用该光波导元件的光调制器件及光发送装置-202180082742.1
- 钉本有纪;片冈优;高野真悟 - 住友大阪水泥股份有限公司
- 2021-12-22 - 2023-08-08 - G02F1/035
- 本发明提供一种具有SSC结构的光波导元件，其能够实现光波导元件的小型化，并抑制与光纤等的耦合产生的插入损失，并且耐光性、耐热性或制造效率高。光波导元件具备光波导基板(1)及保持构件(2)，所述光波导基板(1)具有由具有电光效应的材料形成的脊型的光波导(10)，所述保持构件(2)在形成有所述脊型的光波导的输入端或输出端的位置与该光波导基板重叠地配置并固定于该光波导基板，所述光波导元件的特征在于，在该保持构件的与所述脊型的光波导相对的面上形成有模场直径比所述脊型的光波导大的其他光波导(20)，该光波导基板与该保持构件经由粘接层(30)接合。
- 专利分类
