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- [发明专利]光调制元件-CN202210263062.6在审
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原裕贵;菊川隆;田家裕;长瀬健司;儿玉俊太郎
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TDK株式会社
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2022-03-17
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2023-09-22
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G02F1/035
- 本公开提供能够在从晶圆切出的基板的外周端部防止各结构层间的细微剥离的光调制元件。光调制元件(1)具备基板(10)、形成于基板(10)上的波导层(11)、形成于波导层(11)上的电介质层(12)、形成于电介质层(12)上的电极(4b1)。具有电介质层(12)的外周端部(E12)存在于比基板(10)的外周端部(E10)更靠内侧的偏置区域，在偏置区域的至少一部中，从基板(10)的外周端部(E10)到电体层(12)的外周端部(E12)的距离(L12)为从基板(10)的外周端部(E10)到电极(4b1)的外周端部(E13)的距离(L13)以下。
- 调制元件
- [发明专利]光调制器-CN202180026549.6在审
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田家裕;长瀬健司;A·R·M·宾拉奥;王进武
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TDK株式会社
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2021-03-31
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2022-11-18
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G02F1/05
- 本发明公开一种光调制器。光调制器(100)具备基板(1)、形成于基板上的光波导(2)、经由第一缓冲层(41A)而形成于光波导上且对光波导施加调制信号的信号电极(7a、7b)、以及经由第二缓冲层(42A)而形成于光波导上且对光波导施加DC偏压的偏压电极(9a、9b)，第一缓冲层和第二缓冲层以在第一缓冲层和第二缓冲层的边界部上，第一缓冲层和第二缓冲层中的任意的一方的缓冲层覆盖另一方的缓冲层的端面的方式形成。根据本发明，能够提供一种可靠性高的光调制器。
- 调制器
- [发明专利]光调制器-CN202210296417.1在审
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长瀬健司;田家裕;A·R·M·宾拉奥;王进武
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TDK株式会社
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2022-03-24
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2022-10-04
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G02F1/035
- 本发明涉及一种光调制器。光调制器具有基板、形成于基板的规定的区域上的电光材料层、以覆盖电光材料层的方式形成于基板上的缓冲层、和形成于缓冲层上的电极，电光材料层具有被施加调制信号并被图案化的RF部光波导和被施加直流电压并被图案化的DC部光波导，电极具有形成于RF部光波导所位于的缓冲层上的RF部电极和形成于DC部光波导所位于的缓冲层上的DC部电极，DC部电极的膜厚比RF部电极的膜厚薄。根据本发明，能够提供一种能够抑制由DC部电极中所产生的噪声信号引起的电气串扰，并且在RF部电极中传播的高频信号中能够改善高频特性并能够谋求光频带的宽频带化的光调制器。
- 调制器
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