[发明专利]微机电系统(MEMS)设备有效
| 申请号： | 201680085701.7 | 申请日： | 2016-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN109155296B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 陈健华;D·A·穆里;M·W·库姆比;S-I·J·蔡 | 申请（专利权）人： | 惠普发展公司;有限责任合伙企业 |
| 主分类号： | H01L23/473 | 分类号： | H01L23/473;B81B1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王洪斌;陈岚 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一个示例提供了一种微机电系统(MEMS)设备，包括：利用包覆成型材料包覆成型的多个硅管芯；在硅管芯上形成的多个有源区域，所述有源区域包括至少一个传感器，用以感测被引入到至少一个传感器的流体的多个属性；和耦合到硅管芯的扇出层，所述扇出层包括形成于其中的多个流体通道，所述流体通道与硅管芯的有源区域对接并且允许流体流向至少一个传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 mems 设备 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统(MEMS)设备，包括：利用包覆成型材料包覆成型的多个硅管芯；在所述硅管芯上形成的多个有源区域，所述有源区域包括至少一个传感器，用以感测被引入到所述至少一个传感器的流体的多个属性；以及耦合到所述硅管芯的扇出层，所述扇出层包括形成于其中的多个流体通道，所述流体通道与所述硅管芯的有源区域对接并且允许所述流体流向所述至少一个传感器。
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