[发明专利]具有组合的驱动和探测的MEMS转速传感器有效
| 申请号： | 201680042151.0 | 申请日： | 2016-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN107850430B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | P·韦尔纳;B·库尔曼;M·哈塔斯 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5719 | 分类号： | G01C19/5719 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出一种转速传感器，该转速传感器具有带有主延伸平面的衬底和至少一个相对于衬底可运动的结构，其中，该结构能够被激励而从所述结构的静止位置中以与基本上平行于所述主延伸平面的驱动方向基本上平行的运动分量振动，其中，所述转速传感器为了激励所述振动而包括至少一个被所述结构携动的梳状电极和至少一个相对于所述衬底固定的梳状电极，其中，通过所述携动的梳状电极和/或所述固定的梳状电极的电压加载能够引起所述激励，其中，所述携动的梳状电极和所述固定的梳状电极如此构造，使得能够探测由于所述转速传感器的围绕基本上垂直于所述驱动方向并且基本上垂直于所述探测方向走向的轴线的转速而以沿着基本上垂直于所述驱动方向的探测方向的力分量作用到所述结构上的力。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 组合 驱动 探测 mems 转速 传感器 | ||
【主权项】：
转速传感器(1)，具有带有主延伸平面(100)的衬底(3)和至少一个相对于所述衬底(3)能运动的结构(5)，其中，所述结构(5)能够被激励而从所述结构(5)的静止位置中以与基本上平行于所述主延伸平面(100)的驱动方向(7)基本上平行的运动分量振动，其中，所述转速传感器(1)为了激励所述振动而包括至少一个被所述结构(5)携动的梳状电极(9)和至少一个相对于所述衬底(3)固定的梳状电极(11)，其中，通过所述携动的梳状电极(9)和/或所述固定的梳状电极(11)的电压加载能够引起所述激励，其特征在于，所述携动的梳状电极(9)和所述固定的梳状电极(11)如此构造，使得能够探测由于所述转速传感器(1)的围绕基本上垂直于所述驱动方向(7)并且基本上垂直于所述探测方向(13)走向的轴线的转速而以沿着基本上垂直于所述驱动方向(7)的探测方向(13)的力分量作用到所述结构(5)上的力。
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