[实用新型]一种图形化蓝宝石衬底有效
| 申请号： | 201621452399.8 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN206401346U | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 詹益荷;侯想;张茹华 | 申请（专利权）人： | 福建中晶科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/10 | 分类号： | H01L33/10;H01L33/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 364000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种图形化蓝宝石衬底，其特征在于它包括衬底本体和衬底反射层，通过独有的本体工艺规格限定，从而有效减少生长在蓝宝石基板上GaN之间的差排缺陷，形成周期性图形阵列的反射层，改善磊晶质量，并提高LED内部量子效率，增加光萃取效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图形 蓝宝石 衬底 | ||
【主权项】：
一种图形化蓝宝石衬底，其特征在于，它包括衬底本体和衬底反射层；所述的衬底本体正面粗糙度≤0.2nm,背面粗糙度为0.8≤Ra≤1.2μm；所述的衬底本体的制作规格限定为晶向：0.2±0.05°；角向轴：0±0.1°；平边角度：0±0.2°；线性偏差≤3.0μm；平整度≤5.0μm；翘曲度为0到‑0.8μm之间；所述的衬底反射层为周期性图形阵列。
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