[实用新型]用于涂覆可移动基板的沉积源和沉积设备有效
| 申请号： | 201620739121.2 | 申请日： | 2016-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN206188878U | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | F·里斯;T·高尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56;C23C16/455;C23C16/54 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 黄嵩泉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型描述了用于涂覆可移动基板(20)的沉积源(100、200、300、400)和沉积设备(500)。所述沉积源包括源外壳(120)，通过可以在沉积期间移动基板(20)经过工艺腔室的敞开的前侧的方式而固定到所述工艺腔室；气体入口(130)，用于将工艺气体引入到所述源外壳的涂覆处理区域(125)中；以及抽空出口(140)，用于将所述工艺气体从所述源外壳的泵送区域去除。抽空分割单元(150)布置在所述涂覆处理区域(125)与所述泵送区域(126)之间，所述抽空分割单元具有至少一个开口或具有多个开口(152)，所述至少一个开口或多个开口界定从所述涂覆处理区域(125)到所述泵送区域(126)中的工艺气流路径(155)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 涂覆可 移动 沉积 设备 | ||
【主权项】：
一种用于涂覆可移动基板的沉积源(100)，包含：源外壳(120)，所述源外壳以可以在沉积期间移动基板(20)经过所述源外壳的敞开的前侧(122)的方式而附接到工艺腔室；气体入口(130)，所述气体入口用于将工艺气体引入到所述源外壳(120)的涂覆处理区域(125)中；抽空出口(140)，所述抽空出口用于将所述工艺气体从所述源外壳(120)的泵送区域(126)去除；以及抽空分割单元(150)，所述抽空分割单元布置在所述涂覆处理区域(125)与所述泵送区域(126)之间，所述抽空分割单元具有至少一个开口(152)，所述至少一个开口界定从所述涂覆处理区域(125)到所述泵送区域(126)中的工艺气流路径(155)。
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