[发明专利]一种显示基板及其制作方法和显示装置在审
| 申请号： | 201610130513.3 | 申请日： | 2016-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN105633076A | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 陈善韬;张慧娟;郭易东 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/04 | 分类号： | H01L27/04;H01L21/822 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供了一种显示基板及其制作方法和显示装置，用以解决现有技术中使用激光晶化时形成的晶粒尺寸受限、产品均匀性差的问题。所述显示基板的制作方法包括：采用非晶硅材料在衬底基板上形成包括有源层的图形，所述有源层包括至少一个高厚膜区域，所述高厚膜区域的膜层厚度大于所述有源层其它区域的膜层厚度；使所述有源层中的非晶硅材料晶化成多晶硅材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显示 及其 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】：
一种显示基板的制作方法，其特征在于，所述方法包括：采用非晶硅材料在衬底基板上形成包括有源层的图形，所述有源层包括至少一个高厚膜区域，所述高厚膜区域的膜层厚度大于所述有源层其它区域的膜层厚度；使所述有源层中的非晶硅材料晶化成多晶硅材料。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
