[发明专利]薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、触摸显示面板

摘要

本发明涉及一种薄膜晶体管阵列基板及其制备方法和触控显示面板，触控显示面板包括彩膜基板和上述薄膜晶体管阵列基板以及设置在二者之间的液晶层和间隔体。其中，彩膜基板与薄膜晶体管阵列基板相对组合时，间隔体设置在二者之间。薄膜晶体管阵列基板中设有平坦化层，平坦化层朝向自身内部凹陷形成间隔设置的凹槽，在凹槽中容置有触控电极引线，且触控电极引线的上表面与平坦化层的上表面处于同一水平位置。在本发明中，通过对平坦化层设计凹槽，将触控电极引线容置在其中，使得平坦化层与触控电极引线处于同一水平面。由此避免因CF基板与TFT基板对组精度较差使得间隔体偏离于触控电极引线而最终导致的触控显示面板厚度发生变化的问题。

主权项

1.一种薄膜晶体管阵列基板的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一设有平坦化层的薄膜晶体管阵列基板；对所述平坦化层进行曝光、显影，得到朝向所述平坦化层自身内部凹陷的若干间隔设置的凹槽；在所述凹槽中形成触控电极引线，使所述触控电极引线的上表面与所述平坦化层的上表面处于同一平面，所述薄膜晶体管阵列基板划分为第一区域和第二区域，对所述平坦化层进行曝光、显影包括：采用半色调掩膜对位于第一区域的所述平坦化层进行不完全曝光后，进行显影，得到所述平坦化层的所述凹槽；对所述平坦化层进行曝光、显影还包括：采用普通掩膜对位于第二区域的所述平坦化层进行完全曝光后，进行显影，得到贯穿于所述平坦化层的开孔。