[发明专利]一种阵列基板及其制备方法、显示装置

摘要

本发明提供一种阵列基板及其制备方法、显示装置，属于显示技术领域，其可解决现有的阵列基板树脂过孔处的光刻胶比其他位置更厚，难以被完全去除的问题。本发明的阵列基板包括多个薄膜晶体管和具有至少一个树脂过孔的树脂层，所述薄膜晶体管包括源极、漏极、栅极、有源区，至少部分树脂过孔处设有位于树脂层下方的用于降低树脂过孔处端差的端差调整层。本发明阵列基板在树脂过孔处的下方设置端差调整层，可以有效减小树脂过孔处的端差，后续各层进行光刻工艺时，此处光刻胶厚度与其他位置的高度差减小，有力的改善树脂过孔处端差大造成的钝化层过孔波动，有效避免像素电极金属残留的问题。本发明的阵列基板适用于各种显示装置。

主权项

一种阵列基板，其特征在于，包括多个薄膜晶体管和具有至少一个树脂过孔的树脂层，所述薄膜晶体管包括源极、漏极、栅极、有源区，至少部分树脂过孔处的树脂层下方设有用于降低树脂过孔处端差的端差调整层。