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[发明专利]z轴微机械陀螺仪-CN201380073423.X无效
发明人： C·科古瑞斯;O·盖刚;C·佩塞拉;Y·杨;B·李;S·徐 -专利权人：特罗尼克斯微系统有限公司
申请日： 2013-12-09 - 公布日： 2015-12-02 - 主分类号： G01C19/5747 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于测量z轴角运动的微机械感测器装置，其包括2个振动结构(2.1、2.2、7.1、7.2)，每一个具有至少一个检测质量块(2.1、2.2)。悬挂结构(3.1、4.1、4.2、5.1、6.1、…、6.4)将所述2个振动结构(2.1、2.2、7.1、7.2)保持在所述衬底(1)上方的移动悬挂位置，用于在驱动模式方向(x轴)上和在感测模式方向(y轴)上平行于所述衬底平面运动。耦合支撑结构(4.1、4.2)将所述耦合结构(5.1、5.2、6.1、…、6.4)连接到锚结构(3.1、3.2)并使得所述耦合结构(5.1、5.2)可以旋转摆动运动，所述旋转摆动运动的旋转轴垂直于所述衬底平面。每个所述振动结构(2.1、2.2、7.1、7.2)包括至少一个往复运动质量块(7.1、7.2)，其通过感测模式弹簧(8.1、…、8.4)耦合到所述至少一个检测质量块(2.1、2.2)，所述感测模式弹簧(8.1、…、8.4)在感测模式方向比在驱动模式方向(x)更柔性，用于激励每个所述振动结构(2.1、2.2、7.1、7.2)的振动运动。每个检测质量块(2.1、2.2)的感测电极结构(10.1、10.2)设计用于检测平行于衬底平面的感测模式运动，所述耦合支撑结构(4.1、4.2)设计成也使得所述耦合结构(5.1、5.2、6.1、…、6.4)可以在驱动模式方向(x)上平移运动。
微机陀螺仪

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