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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于测量Z轴角速率的MEMS传感器-CN201480058985.1有效
  • C·科古瑞斯;卢卡·里贝托;里卡尔多·西尼奥雷蒂 - 特罗尼克斯微系统有限公司
  • 2014-12-11 - 2019-05-31 - G01C19/5747
  • 用于测量z轴角速率的微机械传感器设备包括限定衬底平面和垂直于衬底平面的z轴的衬底(1)。第一振动结构(104a)具有第一梭块(105a)和第一质量块(106a)，第一质量块(106a)由第一传感模式弹簧(110a‑d)耦合到第一梭块(105a)。有在镜像对称设置(除了电极以外)中的第二振动结构(104b)。第一和第二悬置结构在驱动模式方向(x)上将第一和第二梭块(105a、b)柔性地悬置在衬底(1)之上。第一和第二梭块(105a、105b)悬置在衬底之上用于至少在驱动模式方向(x)上移动，其中驱动模式方向和传感模式方向平行于衬底平面。此外，第一和第二振动结构(104a、104b)弹性地耦合到彼此。设备具有用于分离地限定下面的频率对中的至少一个的分离结构元件(107a‑d、109a‑d；108a‑d)：(1)驱动模式的反相频率和同相/反相频率分离；(2)传感模式的反相频率和同相/反相频率分离。
  • 用于测量速率mems传感器
  •  1 
  • 共 1 条
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