[发明专利]具有带有主延伸平面的衬底的用于探测转速的转速传感器有效
申请号: | 201480026951.4 | 申请日: | 2014-05-14 |
公开(公告)号: | CN105324634B | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | R·毛尔;B·库尔曼;M·哈塔斯;R·阿梅林;B·施密特;R·舍本;T·巴尔斯林科 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | G01C19/5747 | 分类号: | G01C19/5747 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 曾立 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 带有 延伸 平面 衬底 用于 探测 转速 传感器 | ||
提出具有衬底的用于探测转速的转速传感器,包括初级振动质量块对和次级振动质量块对,初级振动质量块对具有第一初级质量块和第二初级质量块,次级振动质量块对具有第一次级质量块和第二次级质量块,第一初级质量块和第二初级质量块朝向彼此沿着初级偏转方向相对于衬底运动,第一次级质量块和第二次级质量块沿着次级偏转方向相对于衬底运动,第一和第二初级质量块及第一和第二次级质量块反平行地或彼此平行地根据相应的偏转方向运动,其中,主偏转方向垂直于次级偏转方向延伸,初级振动质量块对和/或次级振动质量块对被驱动,使得转速传感器旋转时科里奥利力引起第一初级质量块和第二初级质量块和/或第一次级质量块和第二次级质量块的偏转。
技术领域
本发明涉及一种转速传感器。
背景技术
转速传感器由现有技术已知并且能够确定旋转运动的转速。例如,由文献WO03064975 A1已知一种具有两个摆动的质量块元件(双质量块系统)的转速传感器。通常,所述转速传感器具有两个有摆动能力的质量块(部分摆动器),它们以反平行的模式驱动。当存在转速时,通过科里奥利力激励反平行的探测摆动,所述探测摆动被容性地检测并且借助分析处理电子器件换算成转速。现有技术是,部分摆动器由驱动摆动器和科里奥利摆动器构造。驱动摆动器仅仅经受驱动运动而不经受探测摆动。科里奥利元件不仅经受驱动摆动也经受探测摆动。除科里奥利力以外,对于实际上重要的使用情形存在其它的力,传感器或者所述传感器的部分暴露给所述其他的力并且它们同样可以引起信号或者它们可以使分配给科里奥利力的信号变差、尤其通过线性加速以及通过旋转加速引起的惯性力。所述力的出现不利地导致运行中的误差信号,因为例如以围绕敏感轴线的旋转摆动形式的旋转加速直接导致转速信号。特别地,当旋转摆动以能够驱动转速传感器的频率进行并且在具有科里奥利力的阶段中进行时引起特别大的可干扰性。此外,沿着探测方向的线性加速也导致部分摆动器的不期望的偏转。
此外,已知以下所述转速传感器:在所述转速传感器中多个双质量块系统通过弹簧连接,以便在多于一个方向上探测转速。在此,传感器构造的对此需要的复杂性增大使转速传感器对于干扰模式易受干扰影响并且因此使所测量的电容向转速的分配变难。
发明内容
因此,本发明的任务是提供一种转速传感器,其不具有现有技术的不利并且在此仍然是紧凑的,尤其当涉及多通道的转速传感器时。
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