[实用新型]用于半导体封装设备的树脂吸尘机构

摘要

本实用新型公开了用于半导体封装设备的树脂吸尘机构，它包括底板和固接在底板上的四个呈矩形排列的六角立柱，六角立柱顶部固接有矩形导向柱安装板，矩形导向柱安装板的两条平行短边下底面分别固接有和导向轴配合的直线轴承，矩形导向柱安装板的中部开设有开口槽，开口槽内适配有气缸，气缸的底部固接有调速阀，直线轴承的顶部向上穿过矩形导向柱安装板且其顶部固接有导向安装板，导向安装板开设有供气缸穿过的开口槽，气缸的顶部可拆卸连接有浮动接头，气缸两边的矩形导向柱安装板上通过限位螺栓和导向安装板固接，导向安装板的一侧固接有集尘装置。本实用新型的有益效果是与上料机械手配合吸尘，构造简单拆卸方便，可有效除去料筒内的残余粉尘。

主权项

用于半导体封装设备的树脂吸尘机构，其特征是它包括底板（1）和固接在底板上的四个呈矩形排列的六角立柱（2），所述六角立柱顶部固接有矩形导向柱安装板（3），所述矩形导向柱安装板的两条平行短边下底面分别固接有和导向轴（4）配合的直线轴承（12），所述矩形导向柱安装板的中部开设有开口槽，所述开口槽内适配有气缸（6），所述气缸的底部固接有调速阀（14），所述直线轴承的顶部向上穿过矩形导向柱安装板且其顶部固接有导向安装板（5），所述导向安装板开设有供气缸穿过的开口槽，所述气缸的顶部可拆卸连接有浮动接头，所述气缸两边的矩形导向柱安装板上通过限位螺栓和导向安装板固接，所述导向安装板的一侧固接有集尘装置。