[发明专利]一种阵列基板及其制作方法、显示装置

摘要

本发明实施例公开一种阵列基板及其制作方法、显示装置，涉及显示技术领域，能够在保证寄生电容不增大的前提下，提高薄膜晶体管的开态电流，有利于提高显示装置的解析度、分辨率和开口率。该阵列基板上包括衬底基板以及位于衬底基板上的纵横交错的栅线和数据线，栅线和数据线围成像素单元，像素单元内设置有薄膜晶体管，薄膜晶体管包括栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极，栅极绝缘层包括第一栅极绝缘部分和第二栅极绝缘部分，栅极位于第一栅极绝缘部分和第二栅极绝缘部分之间，第二栅极绝缘部分位于栅极和有源层之间；阵列基板还包括导电衬垫，位于栅线两侧的栅极绝缘层上设置有对应于导电衬垫的第一过孔，数据线通过第一过孔与导电衬垫连接。

主权项

一种阵列基板，包括衬底基板以及位于所述衬底基板上的纵横交错的栅线和数据线，所述栅线和所述数据线围成像素单元，所述像素单元内设置有薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极，所述栅极绝缘层包括第一栅极绝缘部分和第二栅极绝缘部分，其特征在于，所述栅极位于所述第一栅极绝缘部分和所述第二栅极绝缘部分之间，所述第二栅极绝缘部分位于所述栅极和所述有源层之间；所述阵列基板还包括位于所述栅线和所述数据线交叉位置处的导电衬垫，所述第一栅极绝缘部分和所述第二栅极绝缘部分分别位于所述栅线两侧，所述第一栅极绝缘部分和所述第二栅极绝缘部分上均设置有对应于所述导电衬垫的第一过孔，所述数据线通过所述第一过孔与所述导电衬垫连接。