[发明专利]超级结半导体装置及其制造方法有效
申请号: | 201410244550.8 | 申请日: | 2014-06-04 |
公开(公告)号: | CN104465761B | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 全珖延;崔彰容;禹赫;赵文秀;权纯琢 | 申请(专利权)人: | 美格纳半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/36;H01L21/336;H01L21/265 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 韩芳;谭昌驰 |
地址: | 韩国忠清*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 提供一种超级结半导体装置和一种制造该超级结半导体装置的方法。超级结半导体装置包括:n型半导体区域,设置在基底中;两个或更多个p型半导体区域,沿与基底的表面平行的方向交替地设置成邻近于n型半导体区域;p型主体区,设置在p型半导体区中的至少一个上;以及源区,设置在p型主体区中,n型离子注入区沿着n型半导体区域的下端和p型半导体区域的下端形成。 | ||
搜索关键词: | 超级 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种超级结半导体装置,所述超级结半导体装置包括:n型半导体区域,设置在基底中;两个或更多个p型半导体区域,沿与基底的表面平行的方向交替地设置成邻近于n型半导体区域;p型主体区,设置在p型半导体区域中的至少一个上;以及源区,设置在p型主体区中,其中,n型离子注入区形成为遍布于n型半导体区域的下部分和p型半导体区域的下部分中。
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