[发明专利]陶瓷部件及半导体制造装置用部件有效
| 申请号： | 201410108729.0 | 申请日： | 2014-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN104064534B | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 渡边笃;西村升 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H01L23/32 | 分类号： | H01L23/32;C04B35/00 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 李晓 |
| 地址： | 日本国爱知县名*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种陶瓷部件以及半导体制造装置用部件，其在包含氧化镁的陶瓷部件以及半导体制造装置用部件中，具有性能得到改进的电极。半导体制造装置用部件20具有基材部22以及形成于基材部22上的陶瓷部件30。本发明的陶瓷部件30具有陶瓷基体32和设置在陶瓷基体32的一部分上的电极34，其中陶瓷基体32包含氧化镁、规定成分固溶于氧化镁中的氧化镁固溶体以及氧化锆中的至少一种，电极34包含作为电极成分的钌铝合金。陶瓷部件30是平板状部件，其具有电极34被埋设在其内部的结构。该电极34与从陶瓷部件30的下侧插入的供电部件26连接，由该供电部件26供给电力。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷部件 电极 半导体制造装置 氧化镁 陶瓷基体 供电部件 基材部 平板状部件 供给电力 固溶体 铝合金 氧化锆 固溶 改进 | ||
【主权项】：
一种陶瓷部件，其包括：陶瓷基体，所述陶瓷基体包含氧化镁、规定成分固溶于氧化镁中而成的氧化镁固溶体以及氧化锆中的至少一种，以及设置在所述陶瓷基体的一部分上的电极，所述电极包含钌铝合金作为电极成分。
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