[发明专利]一种环形连贯和桥连布局结构及导线断路和短路验证方法无效
| 申请号： | 201410059904.1 | 申请日： | 2014-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN103871988A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 沈茜;莫保章 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/482 | 分类号： | H01L23/482;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供环形连贯和桥连布局结构及导线短路和短路验证方法，所述连贯布局结构和所述桥连布局结构的形状均延其中心向外螺旋延伸形成蚊香状。在版图布局空间中引入所述连贯布局结构和/或所述桥连布局结构，运用串联电路，并结合晶圆可接受性测试平台，通过测试电路观察；如为断路或短路，则工艺流程出现异常；如测试返回电流正常，则工艺流程正常。通过本发明中环形的链状结构的连贯结构和桥连结构代替蛇形链状结构的连贯结构和桥连结构，可以有效地缩小连贯结构和桥连结构的占用面积，能够在有效的版图中，绘制更多的器件进行测试，从而提高经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环形 连贯 布局 结构 导线 断路 短路 验证 方法 | ||
【主权项】：
一种环形连贯和桥连布局结构，其特征在于，所述连贯布局结构和所述桥连布局结构的形状均延其中心向外螺旋延伸形成蚊香状。
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