[发明专利]一种环形连贯和桥连布局结构及导线断路和短路验证方法

权利要求书

1.一种环形连贯和桥连布局结构，其特征在于，

所述连贯布局结构和所述桥连布局结构的形状均延其中心向外螺旋延伸形成蚊香状。

2.如权利要求1所述的环形连贯和桥连布局结构，其特征在于，所述连贯布局结构包括一金属丝，所述连贯布局结构的所述金属丝形成蚊香状，所述金属丝位于中心的一端部连接第一垫具，所述金属丝位于外侧的另一端部连接第二垫具。

3.如权利要求1所述的环形连贯和桥连布局结构，其特征在于，所述桥连布局结构包括两金属丝，所述桥连布局结构的两所述金属丝相互平行，并且两所述金属丝形成蚊香状，两所述金属丝位于中心的端部分别连接第一垫具和第二垫具。

4.如权利要求1所述的环形连贯和桥连布局结构，其特征在于，所述连贯布局结构和所述桥连布局结构呈圆形。

5.一种环形连贯和桥连布局结构的导线断路和短路验证方法，其特征在于，包括权利要求1至5中任意一项所述的环形连贯和桥连布局结构；

在版图布局空间中引入所述连贯布局结构和/或所述桥连布局结构，运用串联电路，并结合晶圆可接受性测试平台，通过测试电路观察；如为断路或短路，则工艺流程出现异常；如测试返回电流正常，则工艺流程正常。