[发明专利]在半导体基底上贴附黏性薄膜的装置和方法

摘要

本发明揭露了一种在半导体基底上贴附黏性薄膜的装置和方法。在一个实施例中，该装置包括：固持半导体基底的支持臂；加载和定位黏性薄膜并使黏性薄膜位于半导体基底上方的工作台；具有线性轨道且设置在黏性薄膜的上方的旋转盘；安装在线性轨道上且能够沿着线性轨道移动的线性驱动器；向黏性薄膜上提供贴膜气体以将黏性薄膜压在半导体基底的黏贴面上的气体喷嘴，气体喷嘴安装在线性驱动器上且与线性驱动器一起移动；与旋转盘连接并驱动旋转盘在平行于半导体基底的平面内旋转的旋转驱动器。

主权项

1.一种在半导体基底上贴附黏性薄膜的系统，其特征在于，包括在半导体基底上贴附黏性薄膜的贴膜装置、伯努利手臂，固持半导体基底，并使半导体基底处于悬浮状态，半导体基底的器件面与伯努利手臂的顶面之间具有一间隙，半导体基底的器件面不与伯努利手臂的顶面接触；真空手臂，固持半导体基底的背面并将半导体基底传送至伯努利手臂；以及清洗装置，清洗半导体基底的器件面和背面；其中，所述伯努利手臂和所述真空手臂在所述贴膜装置和所述清洗装置之间传送半导体基底；所述装置包括：所述伯努利手臂；工作台，加载和定位黏性薄膜，使黏性薄膜位于半导体基底上方；旋转盘，具有线性轨道，旋转盘设置在黏性薄膜的上方；线性驱动器，安装在旋转盘的线性轨道上且能够沿着线性轨道移动；气体喷嘴，向黏性薄膜上提供贴膜气体以将黏性薄膜压在半导体基底的黏贴面上，气体喷嘴安装在线性驱动器上且与线性驱动器一起移动；以及旋转驱动器，与旋转盘连接并驱动旋转盘在平行于半导体基底的平面内旋转。