[发明专利]曝光装置、移动体装置以及器件制造方法

摘要

按照编码器系统的计测结果来控制磁悬浮型平面电机即载物台控制系统(124)而对晶片台(WST)进行驱动控制，并且在检测出晶片台(WST)的驱动控制的异常的情况下，控制载物台驱动系统(124)，对晶片台(WST)施加铅垂方向的推力。由此，能够避免晶片台(WST)的纵摇，能够防止晶片台(WST)(特别是，设置于载物台上表面的刻度)以及配置于其正上方的构造物(特别是编码器头等)的破损。

主权项

1.一种曝光装置，对物体照射能量束而在所述物体上形成图案，该曝光装置具备：移动体，其保持所述物体并在基座上移动；平面电机，其使用具有多个块且设置于所述移动体的可动元件、以及与该可动元件相对地设置于所述基座的定子，对所述移动体产生与规定面交叉的第一方向的驱动力以及与所述规定面平行的第二方向的驱动力；第一位置计测系统，其对所述移动体的至少与所述第二方向相关的位置进行计测；以及控制系统，其使用所述第一位置计测系统的计测结果来控制所述平面电机并将所述移动体至少沿所述第二方向驱动，并且在所述移动体减速时使所述多个块中相对于所述移动体的前进方向位于后方的块产生从该移动体朝向所述基座的上表面的所述第一方向的驱动力。