[发明专利]研磨用组合物以及使用其的基板的制造方法有效
| 申请号： | 201380032348.2 | 申请日： | 2013-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN104395039B | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 谷口惠;森永均;芹川雅之 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;C09K3/14;C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇,李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的研磨用组合物含有磨粒、表面吸附剂和水，在研磨由结晶性的金属化合物形成的研磨对象物的用途中使用。研磨用组合物与在研磨用组合物中不包含表面吸附剂的情况相比，研磨后的研磨对象物的表面缺陷减少。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 以及 使用 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨用组合物，其特征在于，其在研磨由结晶性的金属化合物形成的研磨对象物的用途中使用，所述研磨用组合物含有氧化硅磨粒和水，所述研磨用组合物还含有表面吸附剂，所述研磨用组合物与在所述研磨用组合物中不包含表面吸附剂的情况相比，研磨对象物的表面缺陷减少，所述磨粒和所述表面吸附剂是以满足以下条件的方式选择的：制备含有所述磨粒和所述表面吸附剂的第一悬浮液时，所述悬浮液中的表面吸附剂的15质量％以上吸附于所述悬浮液中的磨粒，所述第一悬浮液中，以与所述研磨用组合物中的磨粒含量相同的含量含有所述磨粒，且以与所述研磨用组合物中的表面吸附剂含量相同的含量含有所述表面吸附剂。
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