[发明专利]钛-铝-钛金属层叠膜用蚀刻液组合物有效
| 申请号： | 201310669733.X | 申请日： | 2013-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN103668209A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 殷福华;邵勇;朱龙 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20;C23F1/26 |
| 代理公司： | 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 杨新勇 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种由钛金属膜、铝金属膜及钛金属膜组成的钛-铝-钛金属层叠膜用蚀刻液组合物。该组合物由氟化物、氧化性酸、非氧化性碱金属盐以及水组成。其中，非氧化性碱金属盐优选为水溶性的锂、钾、钠盐中的至少一种；氟化物、氧化性酸和非氧化性碱金属盐的质量百分浓度分别为0.01~5%、0.1~30%和0.0004~0.35%。与现有技术相比，本发明的优点在于，可以将三层金属层叠膜一起进行蚀刻，并可有效降低侧蚀量、提高蚀刻均匀性，得到的锥角在25度以下；另外，该蚀刻液组合物不采用价格昂贵的盐类辅助氧化剂，而是采用价格更为低廉的非氧化性盐类或其混合物，降低了生产成本，达到了成本和性能的平衡。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 层叠 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
一种钛‑铝‑钛金属层叠膜用蚀刻液组合物，其特征在于，该组合物由氟化物、氧化性酸、非氧化性碱金属盐以及水组成。
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