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[发明专利]一种光刻胶剥离试验一体机及光刻胶剥离方法-CN201910764271.7有效
发明人：顾玲燕;朱龙;李翔;任奕宇;承明忠 -专利权人： 江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻胶剥离试验一体机，包括柜体、设置在柜体内腔底部的基板承载组件、处理液喷射组件、底出液口、与处理液喷射组件和底出液口连通的处理液储槽或处理液源；柜体的侧壁上设置有敞口的出液槽，出液槽的顶端铰接设置有翻转导流板，出液槽的底端通过柜体侧壁的侧出液口与处理液储槽相通；翻转导流板与柜体之间还设置有翻转调节机构；翻转导流板与基板承载组件之间的柜体相对侧壁上分别固定设置有倾斜向下的第一导液板和第二导液板，第一导液板和第二导液板的自由侧边用于密封搭接或者密封叠合设置在翻转导流板的侧边上方，第一导液板的自由侧边位于出液槽的正上方。上述结构可减少置换液中的剥离液带出量，增加置换液回用次数。
一种光刻剥离试验一体机方法

[实用新型]一种超纯水取样装置-CN202320028765.0有效
发明人：周锡军;孔兴贤 -专利权人： 江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01N1/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及液体取样技术领域，具体涉及一种超纯水取样装置，包括取样箱，所述取样箱的左侧设置有注气筒，所述注气筒通过进气管与取样箱进行连接，所述取样箱的顶部设置有进水管，所述进水管通过三通管与进气管进行连接，所述三通管的底端设置有存水盒,所述存水盒的底部设置有出水管，所述出水管的下方设置有取样瓶，所述取样箱的右侧分别设置有排气管和排水管，与现有的超纯水取样装置相比较，本实用新型通过设计能够提升超纯水取样装置的整体实用性。
一种超纯水取样装置

[实用新型]一种储存化学品的移动槽车-CN202320096687.8有效
发明人：顾洪卫;孔兴贤;刘海斌 -专利权人： 江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B65D88/74 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种储存化学品的移动槽车，包括车架和储存罐，所述储存罐位于车架的顶部，所述车架的尾部设置有安装板，所述安装板的上表面设置有制冷机和电源，所述车架的顶部且位于储存罐的外侧配套设置有防护罩，所述储存罐侧壁的内部设置有制冷管，所述储存罐的内部配套设置有温度传感器；所述防护罩的顶部设置有上挡架，所述防护罩的侧面设置有侧挡架，所述上挡架呈交错式结构设计，且设置有三组，所述侧挡架呈交错式结构设计，且设置有两组，所述防护罩侧面的拐角处均设置有加强杆，与现有的储存化学品的移动槽车相比较，本实用新型通过设计能够提高储存化学品的移动槽车的整体功能性、防护性以及实用性。
一种储存化学品移动槽车

[实用新型]一种洁净垫片入盖机-CN202223239488.2有效
发明人：丁磊;蔡济华;吴合青;李汪东 -专利权人： 江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B21D51/46 文献下载
摘要：本实用新型涉及电子化学品小包装瓶盖垫片入盖技术领域，具体涉及一种洁净垫片入盖机，包括设备主体，所述设备主体的左侧设置有放料箱，所述放料箱的内部设置有传送架，所述设备主体的顶部设置有转盘，所述传送架通过输送架与转盘进行连接，所述转盘的外侧设置有两组压片机构，所述转盘的外侧且位于压片机构的另一侧设置有两组冲压机构，所述冲压机构的右侧且位于转盘的下方设置有输出架，与现有的洁净垫片入盖机相比较，本实用新型通过设计能够提升洁净垫片入盖机的整体便捷性、卫生性以及实用性。
一种洁净垫片入盖机

[实用新型]一种水质检测装置-CN202223317958.2有效
发明人：周锡军;孔兴贤 -专利权人： 江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01N33/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及水质检测技术领域，具体涉及一种水质检测装置，包括水质检测箱，所述水质检测箱的前后两侧均设置有两组支撑机构，所述水质检测箱的顶部设置有两组箱盖，两组所述箱盖的顶部均设置有提手，两组所述箱盖的顶部且位于靠近支撑机构的一侧均开设有两组安装槽，两组所述箱盖的底部均开设有蓄水槽，所述水质检测箱的内部设置有水质检测器，四组所述支撑机构的外侧均设置有限位机构；所述支撑机构存放槽，所述水质检测箱的前后两侧均开设有两组存放槽，四组所述存放槽的内部均设置有铰链座，四组所述铰链座的顶部均设置有支撑套筒，与现有的水质检测装置相比较，本实用新型通过设计提高了水质检测装置整体的实用性。
一种水质检测装置

[实用新型]流水线去酸雾风干机-CN202223249867.X有效
发明人：刘海斌;顾洪卫;孔兴贤 -专利权人： 江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B65B61/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及化工安全技术领域，具体涉及流水线去酸雾风干机，包括风干机主体，所述风干机主体的左右两侧均设置有风干箱，所述风干箱的内部设置有风刃架，所述风干机主体的内部设置有传送带，所述传送带的底部且位于风干机主体的内部设置有接液盘，所述风干机主体的顶部设置有储水箱，所述风干机主体的顶部且位于储水箱的前方设置有抽水泵，所述抽水泵的输出端延伸至风干机主体的内部设置有喷水管，与现有的流水线去酸雾方式相比较，本实用新型通过设计能够提高流水线去酸雾方式的整体实用性。
流水线去酸雾风干

[实用新型]简便式小罐上液装置-CN202320041566.3有效
发明人：丁磊;汪珏;张杰;浦丽强 -专利权人： 江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B01F35/71 文献下载
摘要：本实用新型公开了简便式小罐上液装置，包括存放箱和原料桶，存放箱内设置有若干个容纳腔，每个容纳腔内均设置有原料桶，容纳腔内部底端的两侧均设置有支撑座，原料桶放置于支撑座顶部，容纳腔内部顶端设置有主路输液管，主路输液管贯通所有的容纳腔并延伸至存放箱的外部，每个容纳腔的内壁上均安装有抽液泵，抽液泵的出液口与主路输液管相连接，抽液泵的进液口连接有支路输液管，支路输液管上设置有电磁阀，本实用新型解决了每调配一种电子化学品时，需要人为推拉不同的原料桶到调配小罐旁边抽取，导致调配过程繁琐的问题。
简便式小罐上液装置

[实用新型]一种化工消防控制系统-CN202320008382.7有效
发明人：顾洪卫;孔兴贤;刘海斌;喻凯明 -专利权人： 江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： A62C31/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种化工消防控制系统，包括检测系统、灭火系统，检测系统设置于各个不同的生产车间，包括生产车间一设有温湿度火灾探测器，生产车间二设有温度、压力、液位探测器，生产车间三设有感烟火灾探测器；生产车间四设有紫外火焰火灾探测器；各个生产车间的检测系统均信号连接至集中控制中心；各个生产车间的消防手动报警装置均信号连接至集中控制中心；集中控制中心控制灭火系统对各个生产车间启动灭火。本实用新型根据不同生产车间的火灾特性设置不同的火灾检测装置和灭火装置，有效提高灭火的可靠性；使用集中控制中心对消防信息进行集中控制管理，实现系统控制费用低，集中控制化程度高，系统相应较快，避免了火灾事故的扩大。
一种化工消防控制系统

[发明专利]一种集成式混配系统-CN202310005754.5在审
发明人：顾洪卫;刘海斌;浦陈龙;丁磊 -专利权人： 江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B01F33/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成式混配系统，包括混料罐和吨桶，所述混料罐与吨桶均设置于称重机构上，所述吨桶设有至少一个，吨桶通过进料管与混料罐相连接，所述进料管上设有进料控制阀；混料罐上设有用于监测内部混料温度的温度传感器，混料罐上还设有冷却机构，冷却机构包括冷源进入阀和冷源流出阀，还包括控制模块，所述称重机构与温度传感器作为控制模块的信号输入，控制模块以信号输入为依据控制进料控制阀以及冷源进入阀、冷源流出阀的开度。本装置直接通过称重机构对吨桶和混料罐的重量进行称重，可以直接并且准确的计算各种物料的进料量。采用大阀和小阀并联设置，进料前期可以开大阀，进料后期通过小阀进料，可精准控制进料。
一种集成式混配系统

[发明专利]一种液晶面板铜钛蚀刻液及蚀刻方法-CN202211475361.2在审
发明人：徐杨;张秋莲;李涛;李翔;朱龙;孔兴贤 -专利权人： 江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C23F1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种液晶面板铜钛蚀刻液，包括主剂；按质量百分比计，主剂的主要组成为：过氧化氢1%～15%、无机酸0.5%～9%、有机酸0.01%～5%、有机碱0.3%～25%、过氧化氢稳定剂0.001%～3%、金属缓蚀剂0.001%～3%、氟离子源和余量水，液晶面板铜钛蚀刻液中氟离子的质量浓度为0～150ppm。本发明液晶面板铜钛蚀刻液降低氟离子含量，减缓双氧水分解，降低过氧化氢生成的氧气与氟离子共同作用在面板形成局部坑洞的几率，减少基板损伤，降低或者克服面板覆氮化硅后的黑点问题。本发明还公开了一种液晶面板铜钛蚀刻液的蚀刻方法。
一种液晶面板蚀刻方法

[发明专利]一种半导体封装用铜蚀刻液及蚀刻方法-CN202211474585.1在审
发明人：王磊;承明忠;李森虎;符佳立;朱龙;孔兴贤 -专利权人： 江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C23F1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体封装用铜蚀刻液，按质量百分比计，主要组分为：氧化剂1%～8%、无机酸21%～40%、有机羧酸6%～30%、螯合剂0.001%～15%、腐蚀抑制剂0～3%以及余量去离子水；有机羧酸由第一羧酸和第二羧酸组合而成，第一羧酸选自一元羧酸和二元羧酸中的至少一种，第二羧酸为三元以上羧酸中的至少一种。本发明半导体封装用铜蚀刻液通过优选有机羧酸和调整蚀刻液组分含量，降低蚀刻速度，提高蚀刻精度，完全蚀刻去除铜种子层的同时，降低铜蚀刻液对重布线层和金属凸点中其他铜层的侧损失，使重布线层和金属凸点的形貌更趋规整，提高重布线层和金属凸点的结构稳定性。本发明还公开了一种基于半导体封装用铜蚀刻液的蚀刻方法。
一种半导体封装蚀刻方法

[发明专利]一种改进的环保水系光刻胶剥离液-CN201910764972.0有效
发明人：徐杨;陈林;邵勇;朱龙;周勰;赵飞;顾玲燕 -专利权人： 江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种改进的环保水系光刻胶剥离液，其主要组分为：有机胺、水溶性有机溶剂、水以及水溶性有机磷酸，水溶性有机磷酸的分子结构中具有氨基；按重量百分比计，水溶性有机磷酸的含量为0.01～3％。该改进的环保水系光刻胶剥离液以具有氨基的水溶性有机磷酸作为铜缓蚀剂，利用有机磷酸中的氨基和磷酸基团作为配位基团与铜发生反应，与现有技术中的苯并三唑类缓蚀剂相比，配位能力较弱，削弱缓蚀体系对于铜配线的保护能力，实现铜配线的选择性蚀刻；水溶性有机磷酸可调节剥离体系的pH值，在链烷醇胺进攻光阻的同时，附着于铜钼表面的有机磷酸调节铜钼界面的电势差，防止底切现象。
一种改进环保水系光刻剥离

[发明专利]一种液体化学品吨桶清洗装置-CN201710353702.1有效
发明人：朱永刚;殷福华;丁磊 -专利权人： 江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2017-05-18 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B08B9/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种液体化学品吨桶清洗装置，包括清洗室、载桶框架和翻转机构，清洗室的一侧设置有吨桶进出口，底端设置有清洗废液出口，翻转机构用于驱动载桶框架在清洗室的内腔中翻转，载桶框架设置有与吨桶相配合的限位件，载桶框架顶端设置有桶内抽液组件和桶内壁清洗组件。该液体化学品吨桶清洗装置结构简单，通过设置清洗室和可翻转的载桶框架，上述结构能保证清洗操作的洁净环境，载桶框架带动吨桶翻转可以使吨桶内残液和清洗液抽除更彻底，减少清洗液的使用量和清洗废液的处理量。
一种液体化学品清洗装置

[发明专利]一种半导体晶圆干刻后清洗工艺-CN202111590538.9有效
发明人：王磊;承明忠;符佳立 -专利权人： 江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体晶圆干刻后清洗工艺，半导体晶圆包括裸露的铝结构层；包括以下步骤：S1：清洗剂A预清洗晶圆的干刻有机残留物，清洗完毕后，用水溶性有机溶剂清洗晶圆；S2：用主要组成为氟离子源的清洗剂B清洗去除晶圆的牺牲层，清洗完毕后，用水溶性有机溶剂清洗晶圆；S3：超纯水清洗晶圆，干燥晶圆；按质量百分比计，清洗剂A的主要组成为30～60%的硫酸、22~53%的有机溶剂、15～25%的水和0.01～0.8%的第一复配缓蚀剂，第一复配缓蚀剂的主要组成为氨基酸类缓蚀剂、巯基杂环化合物和无机酸缓蚀剂。本发明半导体晶圆干刻后清洗工艺充分去除干刻残留和牺牲层并将对铝结构层的腐蚀维持在较低程度。
一种半导体晶圆干刻后清洗工艺

[实用新型]一种室外槽车的自动卸料灌装装置-CN202220211721.7有效
发明人：顾洪卫;浦陈龙;丁磊;顾维达;朱刚 -专利权人： 江阴江化微电子材料股份有限公司
申请日： 2022-01-26 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B67C3/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种室外槽车的自动卸料灌装装置，包括槽车、气动泵、过滤器、储料罐，槽车与气动泵之间依次设置有手动阀、第一流量计和第一电磁阀，第二电磁阀设置于气动泵与过滤器之间，过滤器通过第二输液管道与储料罐相连，第二输液管道上依次设置有第三电磁阀和第二流量计，储料罐出口连接有第一气体管路，管路上设置有侦测探头和第四电磁阀，槽车上连接有氮气输送管路，管路上设置有第五电磁阀，灌装装置包括控制系统，第一流量计、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第二流量计、侦测探头、第四电磁阀、第五电磁阀与控制系统相连。控制系统可根据第一流量计、第二流量计和侦测探头反馈的数据判断槽车内是否还有液体及储料罐是否填满。
一种室外槽车自动卸料灌装装置

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