[发明专利]喷淋头的制作方法

摘要

本发明公开了一种喷淋头的制作方法。包括：提供第一板，在所述第一板中形成多个第一通道和多个凹槽，所述凹槽和第一通道间隔排列，所述第一通道贯穿所述第一板，所述多个凹槽的开口朝向一致且所述开口方向与所述第一通道的长度方向一致；提供第二板，在所述第二板中形成多个第二通道，所述第二通道与所述第一通道相对应以便将第二板和第一板贴合后所述第二通道与第一通道限定第一气体通道，所述第二板与所述凹槽贴合后，所述第二板与所述凹槽限定第一气体腔室；在所述第一板或第二板内形成连通所述第一气体腔室与反应区域的第三通道；利用连接固定件将所述第一板和第二板固定贴合在一起。该方法尽可能减少了焊接工艺在喷淋头制作过程中的出现，从而有效降低了制作难度，提高了对反应气体的控制能力。

主权项

一种喷淋头的制作方法，其特征在于，包括：提供第一板，在所述第一板中形成多个第一通道和多个凹槽，所述凹槽和第一通道间隔排列，所述第一通道贯穿所述第一板，所述多个凹槽的开口朝向一致且所述开口方向与所述第一通道的长度方向一致；提供第二板，在所述第二板中形成多个第二通道，所述第二通道与所述第一通道相对应以便将第二板和第一板贴合后所述第二通道与第一通道限定第一气体通道，所述第二板与所述凹槽贴合后，所述第二板与所述凹槽限定第一气体腔室；在所述第一板或第二板内形成连通所述第一气体腔室与反应区域的第三通道；利用连接固定件将所述第一板和第二板固定贴合在一起。