[发明专利]喷淋头的制作方法

权利要求书

1.一种喷淋头的制作方法，其特征在于，包括：

提供第一板，在所述第一板中形成多个第一通道和多个凹槽，所述凹槽和第一通道间隔排列，所述第一通道贯穿所述第一板，所述多个凹槽的开口朝向一致且所述开口方向与所述第一通道的长度方向一致；

提供第二板，在所述第二板中形成多个第二通道，所述第二通道与所述第一通道相对应以便将第二板和第一板贴合后所述第二通道与第一通道限定第一气体通道，所述第二板与所述凹槽贴合后，所述第二板与所述凹槽限定第一气体腔室；

在所述第一板或第二板内形成连通所述第一气体腔室与反应区域的第三通道；

利用连接固定件将所述第一板和第二板固定贴合在一起。

2.如权利要求1所述的喷淋头的制作方法，其特征在于，还包括：在所述第一通道和第二通道内插入气体管，形成所述第一气体通道的步骤。

3.如权利要求2所述的喷淋头的制作方法，其特征在于，所述气体管与第一通道和第二通道的侧壁通过钎焊工艺结合。

4.如权利要求1所述的喷淋头的制作方法，其特征在于，所述凹槽的开口方向为靠近所述反应区域的方向；

所述第一通道至少有一部分贯穿所述第一板，所述第一板上具有第二气体腔室，所述第二气体腔室与所述第一通道相连通；

所述第二通道贯穿所述第二板，利用连接固定件将所述第二板贴合在所述第一板的朝向反应区域一侧的表面，限定所述第一气体通道和第一气体腔室；

所述第三通道贯穿所述第二板设置，所述第三通道和第二通道利用同一工艺步骤制作。

5.如权利要求4所述的喷淋头的制作方法，其特征在于，所述第一通道完全贯穿所述第一板，所述方法还包括：所述第一板的远离反应区域一侧的表面放置顶盖，所述顶盖与所述第一板之间限定第二气体腔室。

6.如权利要求5所述的喷淋头的制作方法，其特征在于，所述第一板远离所述反应区域的一侧或者所述顶盖朝向反应区域的一侧形成有凹陷，利用连接固定件将所述第一板和顶盖固定贴合在一起以限定所述第二气体腔室。

7.如权利要求1所述的喷淋头的制作方法，其特征在于，所述凹槽的开口方向为远离所述反应区域的方向；

所述第二通道至少有一部分贯穿所述第二板，所述第二板上具有第二气体腔室，所述第二气体腔室与所述第二通道相连通；

利用所述连接固定件将所述第二板贴合在所述第一板的远离反应区域一侧的表面，形成所述第一气体通道和第一气体腔室；

所述第三通道贯穿所述第一板的所述凹槽底壁设置，所述第三通道和第一通道利用同一工艺步骤制作。

8.如权利要求7所述的喷淋头的制作方法，其特征在于，所述第二通道完全贯穿所述第二板，所述方法还包括：所述第二板的远离反应区域一侧的表面放置顶盖，所述顶盖与所述第二板之间限定第二气体腔室。

9.如权利要求8所述的喷淋头的制作方法，其特征在于，所述第二板远离所述反应区域的一侧或者所述顶盖朝向反应区域的一侧形成有凹陷，利用连接固定件将所述第二板和顶板固定贴合在一起以限定所述第二气体腔室。

10.如权利要求4或7所述的喷淋头的制作方法，其特征在于，所述在所述第一板上形成多个第一通道和在所述第二板上形成多个第二通道包括：

利用钻孔工艺或刻蚀工艺在所述第一板上和第二板上形成多组通孔，每组通孔的数量至少为一个，相邻组通孔的间距为1-20mm。

11.如权利要求4或7所述的喷淋头的制作方法，其特征在于，所述钻孔工艺为激光钻孔工艺、机械钻孔工艺或者两者的结合。

12.如权利要求4或7所述的喷淋头的制作方法，其特征在于，采用切削、铣削工艺或电火花放电工艺形成所述凹槽，所述凹槽宽度范围为1-20mm。

13.如权利要求4或7所述的喷淋头的制作方法，其特征在于，所述凹槽为长条形或者环形，沿所述第一板的半径方向呈四象限或者八象限分布。

14.如权利要求4或7所述的喷淋头的制作方法，其特征在于，所述顶盖、第一板及第二板为不锈钢或者陶瓷。