[发明专利]薄膜晶体管基板、其制备方法、以及包含其的显示面板

摘要

本发明公开了一种薄膜晶体管基板、其制备方法，以及包含其的显示面板，其中，该薄膜晶体管基板包括一底栅极、一顶栅极以及一侧栅极，且该底栅极、顶栅极以及该侧栅极互相电性连接，以形成一环绕式栅极，且该薄膜晶体管基板中的通道与侧栅极之间的最短距离为

主权项

一种薄膜晶体管基板，包括： 一基板； 一底栅极，位于该基板上； 一第一栅极绝缘层，位于该基板以及该底栅极上，并显露部分该底栅极； 一半导体层，位于该第一栅极绝缘层上，并显露部分该第一栅极绝缘层以及前述部分该底栅极； 一第二栅极绝缘层，位于该半导体层以及该第一栅极绝缘层上； 一侧栅极绝缘层，位于前述的部分该第一栅极绝缘层上并侧向覆盖该半导体层，且邻接该第二栅极绝缘层； 一顶栅极，形成于该第二栅极绝缘层上；以及 一侧栅极，位于该顶栅极以及前述部分该底栅极之间，且侧向覆盖该第一栅极绝缘层、以及该侧栅极绝缘层，该侧栅极电性连接至该顶栅极以及该底栅极。