[发明专利]氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法有效
| 申请号： | 201310467148.1 | 申请日： | 2013-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN103710680A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 朴洙昊;朴钟世;刘泳祚;李柱永;金序炫;尹根尚;金荣云;申亨秀;尹承镐;李相度;李相益;任相俊 | 申请（专利权）人： | 三星康宁精密素材株式会社 |
| 主分类号： | C23C16/40 | 分类号： | C23C16/40 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 氧化锌（ZnO）前驱体和利用该前驱体沉积ZnO类薄膜的方法，使用该ZnO前驱体可以沉积高质量和高纯度的ZnO类薄膜。所述ZnO前驱体包括混合溶剂和源材料，所述混合溶剂包含混合的至少两种有机溶剂，所述源材料包括稀释在所述混合溶剂内的二乙基锌或二甲基锌。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 前驱 利用 沉积 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化锌前驱体，所述氧化锌前驱体包括：混合溶剂，所述混合溶剂包括混合的至少两种有机溶剂；和氧化锌前驱体源材料，所述氧化锌前驱体源材料被稀释在所述混合溶剂中。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
