[发明专利]氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法有效
| 申请号： | 201310467148.1 | 申请日： | 2013-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN103710680A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 朴洙昊;朴钟世;刘泳祚;李柱永;金序炫;尹根尚;金荣云;申亨秀;尹承镐;李相度;李相益;任相俊 | 申请（专利权）人： | 三星康宁精密素材株式会社 |
| 主分类号： | C23C16/40 | 分类号： | C23C16/40 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化锌 前驱 利用 沉积 薄膜 方法 | ||
1.一种氧化锌前驱体，所述氧化锌前驱体包括：
混合溶剂，所述混合溶剂包括混合的至少两种有机溶剂；和
氧化锌前驱体源材料，所述氧化锌前驱体源材料被稀释在所述混合溶剂中。
2.根据权利要求1所述的氧化锌前驱体，其中所述氧化锌前驱体源材料包括二乙基锌或二甲基锌。
3.根据权利要求1所述的氧化锌前驱体，其中各种所述有机溶剂包括由通式CnH2n+2表示的链烷烃类碳氢化合物或由通式CnH2n表示的环烷烃类碳氢化合物，其中n为在5至12的范围内的数字。
4.根据权利要求3所述的氧化锌前驱体，其中所述混合溶剂包括庚烷、己烷和戊烷中的一种以及辛烷。
5.根据权利要求1所述的氧化锌前驱体，其中所述氧化锌前驱体源材料的含量在0.1mol/L至2mol/L范围内。
6.根据权利要求1所述的氧化锌前驱体，其中所述氧化锌前驱体源材料的蒸汽压在所述混合溶剂的蒸汽压的95%至99%的范围内。
7.一种通过化学气相沉积在基板上沉积氧化锌类薄膜的方法，所述方法包括：利用根据权利要求1所述的氧化锌前驱体和氧化剂沉积所述氧化锌类薄膜。
8.根据权利要求7所述的方法，其中所述有机溶剂包括由通式CnH2n+2表示的链烷烃类碳氢化合物或由通式CnH2n表示的环烷烃类碳氢化合物，其中n为在5至12的范围内的数字。
9.根据权利要求8所述的方法，其中所述有机溶剂包括庚烷、己烷和戊烷中的一种以及辛烷。
10.根据权利要求7所述的方法，其中所述化学气相沉积包括：控制所述氧化锌前驱体源材料的蒸汽压在所述混合溶剂的蒸汽压的95%至99%的范围内。
11.根据权利要求7所述的方法，其中所述化学气相沉积包括常压化学气相淀积。
12.根据权利要求7所述的方法，其中所述化学气相沉积包括蒸发所述氧化锌前驱体，并将所述氧化锌前驱体的蒸汽供应至其中放置有所述基板的沉积室中。
13.根据权利要求12所述的方法，蒸发所述氧化锌前驱体包括将气体吹入所述氧化锌前驱体。
14.根据权利要求12所述的方法，其中所述氧化锌前驱体被载气载至所述沉积室中，所述载气包括惰性气体。
15.根据权利要求7所述的方法，其中所述氧化剂包括选自由氧气、臭氧气体、氮氧化物气体、水蒸汽和乙醇蒸汽组成的组中的至少一种。
16.根据权利要求7所述的方法，其中所述化学气相沉积包括用掺杂剂掺杂所述氧化锌类薄膜。
17.根据权利要求7所述的方法，其中所述基板包括选自由Si基板、蓝宝石基板、陶瓷基板、玻璃基板、金属氧化物基板和金属基板组成的组中的一种。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
