[发明专利]封装结构及半导体工艺有效
申请号: | 201310418550.0 | 申请日: | 2013-09-13 |
公开(公告)号: | CN104465427B | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
发明(设计)人: | 陈勇仁;丁一权;郑文吉 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/603 | 分类号: | H01L21/603;H01L23/488 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆勍 |
地址: | 中国台湾高雄市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明是关于一种封装结构及半导体工艺,封装结构包括:一第一基板、一第二基板、一晶粒、数个电性连接元件、至少一间隔元件及封胶。该晶粒位于该第一基板及该第二基板之间,该至少一间隔元件设置于该晶粒及该第二基板之间,且接触该晶粒及该第二基板。电性连接元件电性连接该第一基板及该第二基板。利用该至少一间隔元件支撑该第二基板,使该第一基板与该第二基板间具有一设定距离,该等电性连接元件不须使用高强度的材料,以节省材料成本。且该至少一间隔元件可控制该晶粒与该第二基板间的距离及间隔空间,使得封胶可顺利流入间隔空间,不会产生空气或空隙于该间隔空间,可提高产品良率。 | ||
搜索关键词: | 第二基板 晶粒 第一基板 间隔元件 封装结构 间隔空间 电性连接元件 半导体工艺 封胶 产品良率 电性连接 节省材料 连接元件 可控制 等电 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种封装结构,其特征在于,包括:一第一基板,具有一第一表面及数个第一导电接点,其中所述第一导电接点露出于该第一基板的该第一表面;一第二基板,具有一第二表面及数个第二导电接点,其中所述第二导电接点露出于该第二基板的该第二表面,该第二表面是面对该第一基板的该第一表面;一晶粒,位于该第一基板及该第二基板之间,其中该晶粒具有一第三表面,该第三表面是面对该第二基板的该第二表面,该第二表面及该第三表面之间具有一间隔空间;数个电性连接元件,位于该第一基板及该第二基板之间,且与所述第一导电接点及所述第二导电接点物理连结及电性连接;至少一间隔元件,设置于该间隔空间,为该间隔空间内的一第一部份,且接触该晶粒及该第二基板,该至少一间隔元件的总截面积小于该晶粒的该第三表面的面积的40%;及封胶,包覆该第一基板的部分第一表面及该第二基板的部分第二表面,其中该封胶的一部份为该间隔空间内的一第二部分。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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