[发明专利]一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法有效
申请号: | 201310414707.2 | 申请日: | 2013-09-09 |
公开(公告)号: | CN103474433B | 公开(公告)日: | 2016-10-26 |
发明(设计)人: | 王士敏;赵约瑟;朱泽力;郭志勇;钟荣苹;陈雄达;李绍宗 | 申请(专利权)人: | 深圳莱宝高科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1362;G02F1/1368 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518057 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及平板显示技术领域,尤其涉及一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法。薄膜晶体管阵列基板包括具有第一表面的基板、形成于基板的第一表面上的多条扫描线、多条信号线、多个薄膜晶体管、多个像素电极及多个子公共电极;每一薄膜晶体管包括栅极、源极、漏极、栅绝缘层及阻挡层,扫描线、多个薄膜晶体管的栅极及多个子公共电极由一第一导电层经同一制程一并制成,在子公共电极所对应的栅绝缘层和阻挡层上具有两个第四通孔,在第四通孔的位置还形成一桥接结构,相邻的两个第四通孔通过桥接结构将相邻的各个子公共电极电性相连;像素电极、薄膜晶体管的源极、漏极及桥接结构由一第二导电层经同一制程一并制成。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜晶体管 阵列 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种薄膜晶体管阵列基板,包括具有第一表面的基板、形成于所述基板的第一表面上的多条扫描线、多条信号线、多个薄膜晶体管、多个像素电极及多个子公共电极;每一所述薄膜晶体管包括栅极、源极、漏极、栅绝缘层及阻挡层,所述扫描线、多个薄膜晶体管的栅极及多个所述子公共电极由一第一导电层经同一制程一并制成;在所述子公共电极所对应的所述栅绝缘层和所述阻挡层上具有两个第四通孔,在所述第四通孔的位置还形成一桥接结构,相邻的两个所述第四通孔通过所述桥接结构将相邻的各个所述子公共电极电性相连;所述像素电极、薄膜晶体管的源极、漏极及所述桥接结构由一第二导电层经同一制程一并制成。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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