[发明专利]叠对标记及其形成方法有效
| 申请号： | 201310159625.8 | 申请日： | 2013-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN103681624A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 邱垂福 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G03F7/00;G03F1/56 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 中国台湾桃园县龟山*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种叠对标记及其形成方法，该方法包括：在基底上形成多条光致抗蚀剂图案。每一光致抗蚀剂图案包括第一条状物以及并排的多个第二条状物。所述第一条状物与所述第二条状物交错而呈栅状，并且相邻的两个光致抗蚀剂图案之间有空隙，且所述空隙呈栅状。接着，在每一空隙中形成多个岛状物，以形成网点带状图案。之后，移除所述光致抗蚀剂图案，留下所述的网点带状图案做为所述叠对标记。 | ||
| 搜索关键词： | 标记 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种叠对标记的形成方法，其特征在于，包括：在基底上形成多条光致抗蚀剂图案，每一所述光致抗蚀剂图案包括一第一条状物以及并排的多个第二条状物，所述第一条状物与所述第二条状物交错而呈栅状，并且相邻的两个光致抗蚀剂图案之间有空隙，且所述空隙呈栅状；在每一空隙中形成多个岛状物，以形成网点带状图案；以及移除所述光致抗蚀剂图案，留下所述的网点带状图案做为所述叠对标记。
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