[发明专利]基于海胆型镍粒子模板的场发射阴极结构及制造方法有效

专利信息
申请号: 201310107581.4 申请日: 2013-03-30
公开(公告)号: CN103198991A 公开(公告)日: 2013-07-10
发明(设计)人: 胡海龙;郭太良;张典;李福山;杨尊先;周雄图;张永爱;叶芸 申请(专利权)人: 福州大学
主分类号: H01J29/04 分类号: H01J29/04;H01J9/02
代理公司: 福州元创专利商标代理有限公司 35100 代理人: 蔡学俊
地址: 350002 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及一种基于海胆型镍粒子模板的场发射阴极结构及制造方法,该结构包括一金属底电极层,设置在所述底电极层上的海胆型镍粒子模板,覆盖在所述镍粒子表面的纳米材料或薄膜。利用模板调控场发射阴极尖端的取向和分布密度,以模板上包覆的纳米材料提高场发射性能,解决了场发射器件性能不可控的难题。该阴极结构工作电压低,电子发射效率高,发射稳定可靠,制备工艺简单。
搜索关键词: 基于 海胆 粒子 模板 发射 阴极 结构 制造 方法
【主权项】:
一种基于海胆型镍粒子模板的场发射阴极结构,其特征在于:该场发射阴极结构包括:基板;底电极层,设置于所述基板上;以及海胆型镍粒子,设置于所述金属底电极层上并作为模板;所述的模板表面覆盖有纳米材料。
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