[发明专利]一种导电引线及其制作方法无效
| 申请号： | 201310012091.6 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN103064207A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;任思雨;李建;张毅先;胡君文;于春崎;何基强;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利半导体有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 516600 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种导电引线的制作方法，包括：在一基板表面上形成金属层，在所述金属层表面上形成金属氧化物导电层，以具有导电引线图形的掩膜版为掩膜，采用光刻工艺和刻蚀工艺图案化金属氧化物导电层，形成金属氧化物导电保护线，图案化金属层，形成金属线，完成导电引线的制作。有了金属氧化物导电保护线的保护，大大降低了水气或碱性离子侵入金属线的几率，并且降低了金属线暴露在空气中的几率，提高了产品的抗腐蚀能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导电 引线 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种导电引线的制作方法，其特征在于，包括：在一基板表面上形成金属层；在所述金属层表面上形成金属氧化物导电层；以具有导电引线图形的掩膜版为掩膜，采用光刻工艺和刻蚀工艺图案化金属氧化物导电层，形成金属氧化物导电保护线，图案化金属层，形成金属线，完成导电引线的制作。
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