[发明专利]研磨用组合物以及使用其的研磨方法及基板的制造方法有效
| 申请号： | 201280060006.7 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103975037A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 玉井一诚;芦高圭史;坪田翔吾 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;H01L21/3105 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的研磨用组合物含有表面具有多个突起的磨粒。研磨用组合物中的磨粒中，粒径比磨粒的体积基准平均粒径大的磨粒的表面具有的突起的高度分别除以同一突起的基部的宽度而得到的值的平均值为0.170以上。此外，粒径比磨粒的体积基准平均粒径大的磨粒的表面具有的突起的平均高度为3.5nm以上。研磨用组合物中所含的有机碱的量相对于研磨用组合物中的磨粒1kg为100mmol以下。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 以及 使用 方法 制造 | ||
【主权项】：
一种研磨用组合物，其特征在于，其为用于对亲水性的研磨对象物的表面进行研磨的研磨用组合物，所述研磨用组合物含有表面具有多个突起的磨粒，所述磨粒中，粒径比磨粒的体积基准平均粒径大的磨粒的表面具有的突起的高度分别除以同一突起的基部的宽度而得到的值的平均值为0.170以上，所述磨粒中，粒径比磨粒的体积基准平均粒径大的磨粒的表面具有的突起的平均高度为3.5nm以上，研磨用组合物中所含的有机碱的量相对于研磨用组合物中的所述磨粒1kg为100mmol以下。
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