[发明专利]光学用基材以及半导体发光元件

摘要

提供一种具有通过减少导体层中的错位缺陷数改善内量子效率IQE、并提高LED的发光效率的微细结构体的光学用基材。光学用基材（1）具有微细结构层（12），所述微细结构层（12）包含由从基材（11）主面向面外方向延伸的多个凸部（13）构成的点，微细结构层（12）在基材（11）主面内的第一方向上具有多个点构成以间距Py排列而成的多个点列（13‑1～13‑N），在基材（11）主面内的与第一方向正交的第二方向上具有多个点以间距Px排列而成的多个点列，间距Py以及间距Px中的任意一方为纳米尺度的固定间隔，另一方为纳米尺度的不固定间隔，或者两者均为纳米尺度的不固定间隔。

主权项

一种光学用基材，其特征在于，具有微细结构层，所述微细结构层包含由从基材主面向面外方向延伸的多个凸部或凹部构成的点，所述微细结构层在所述基材主面内的第一方向上，构成所述多个点以间距Py排列、且所述多个点的中心相互一致的多个直线状的点列，另一方面，在所述基材主面内的与所述第一方向正交的第二方向上，构成所述多个点列以间距Px排列的多个点列，所述间距Py以及所述间距Px中的任意一方为纳米尺度的固定间隔，另一方为纳米尺度的不固定间隔，或者两者均为纳米尺度的不固定间隔，为不固定间隔的所述间隔Py等同于各点的中心之间的距离，为不固定间隔的所述间距Px等同于所述多个点以所述间距Py排列而成的多个点列之间的距离，且所述间距Py以及所述间距Px比各点的直径要大，在所述间距Py为不固定间隔的情况下，至少相邻的4个以上m个以下的所述点之间的所述间距Pyn满足下式(1)的关系，且构成为在所述第一方向上，以所述间距Py1～Pyn构成的点组以长周期单位Lyz重复排列，其中，3≦n≦2a或3≦n≦2a+1，m、a是正整数，n＝m‑1，并且，在所述间距Px为不固定间隔的情况下，至少相邻的4个以上m个以下的所述点之间的所述间距Pxn满足下式(2)的关系，且构成为在所述第二方向上，以所述间距Px1～Pxn构成的点列组以长周期单位Lxz重复排列，其中3≦n≦2a或3≦n≦2a+1，m、a是正整数，n＝m‑1，在所述点列组中，相邻的第一点列以及第二点列，或者第一点列以及第三点列在所述第二方向上对齐配置，Py1＜Py2＜Py3＜…＜Pya＞…＞Pyn    (1)Px1＜Px2＜Px3＜…＜Pxa＞…＞Pxn    (2)。