[实用新型]一种射频组合装置以及等离子体处理设备有效
| 申请号： | 201220241914.3 | 申请日： | 2012-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN202601554U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 陈妙娟;徐朝阳;张亦涛;倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 吴世华;冯志云 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种射频组合装置以及等离子体处理设备，其置于一气体反应腔下，所述射频组合装置包括：射频滤波盒，用于滤波保护，所述射频滤波盒的上表面固接一个托盘，所述托盘与所述气体反应腔相连接，使所述射频滤波器固定于所述气体反应腔的下方；以及射频匹配盒，用于阻抗匹配，所述射频匹配盒的背面与所述射频滤波盒的正面可拆卸地连接；其中，所述射频滤波盒的正面包括一开口，在所述射频匹配盒与所述射频滤波盒相连接时所述射频匹配盒的背面覆盖住所述开口。本实用新型通过提供一种射频组合装置，解决了原本射频滤波盒维修不便的问题，使与射频滤波盒相连接的射频匹配盒拆离后便能够针对射频滤波盒进行更换以及维修。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 组合 装置 以及 等离子体 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种射频组合装置，其置于一气体反应腔下，所述射频组合装置包括：射频滤波盒，用于滤波保护，所述射频滤波盒的上表面固接一个托盘，所述托盘与所述气体反应腔相连接，使所述射频滤波器固定于所述气体反应腔的下方；以及射频匹配盒，用于阻抗匹配，所述射频匹配盒的背面与所述射频滤波盒的正面相贴合，且所述射频匹配盒与所述射频滤波盒可拆卸地连接；其特征在于，所述射频滤波盒的正面包括一开口，在所述射频匹配盒与所述射频滤波盒相贴合时所述射频匹配盒的背面覆盖住所述开口。
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