[发明专利]用于夹持作用减小的远紫外静电吸盘的方法及结构有效
| 申请号： | 201210507320.7 | 申请日： | 2012-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN103681782A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 许家豪;陈家桢;傅中其;高慈炜;林毓超 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/04;H01L21/02;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种半导体结构的一个实施例。半导体结构包括具有正面和背面的半导体衬底；形成在半导体衬底的正面上的集成电路部件；以及设置在半导体衬底的背面上的多晶硅层。本发明还提供了用于夹持作用减小的远紫外静电吸盘的方法及结构。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 夹持 作用 减小 紫外 静电 吸盘 方法 结构 | ||
【主权项】：
一种半导体结构，包括：半导体衬底，具有正面和背面；集成电路部件，形成在所述半导体衬底的所述正面上；以及多晶硅层，设置在所述半导体衬底的所述背面上。
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