[发明专利]一种介电常数可调整的金属互连层及其制作方法有效
| 申请号： | 201210432249.0 | 申请日： | 2012-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN102938399A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 曾林华;任昱;吕煜坤;张旭昇 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L23/528;H01L21/768 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种介电常数可调整的金属互连层，包括依次沉积的阻挡层、介质层、金属导线层和阻挡层，所述金属导线层设于所述介质层中，所述金属导线层间的介质层中设有封闭的空隙。本发明的技术方案结构简单、方法简便易行、成本较低，应用本发明可以在固定介质层薄膜的情况下获得更低而且可调的介电常数的金属层间介质层薄膜，提高器件速度，满足不同产品的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 介电常数 可调整 金属 互连 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种介电常数可调整的金属互连层，其特征在于，包括依次沉积的阻挡层、介质层、金属导线层和阻挡层，所述金属导线层设于所述介质层中，所述金属导线层间的介质层中设有封闭的空隙。
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