[发明专利]重合标记及其测量方法有效
| 申请号： | 201210350981.3 | 申请日： | 2012-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN103515357A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 陈贞妤;谢铭峰;张庆裕 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有位于衬底上方的重合标记的器件，以及使用重合标记调节多层重合对准的方法。重合标记包括位于第一层中的第一部件，该第一部件具有仅沿X方向延伸的基本上相互平行的多个第一对准部分；在位于第一层上方的第二层中的第二部件，该第二部件具有沿与X方向不同的Y方向延伸的基本上相互平行的多个第二对准部分；在位于第二层上方的第三层中的第三部件，第三部件包括沿X方向延伸的基本上相互平行的多个第三对准部分，以及沿Y方向延伸的基本上相互平行的多个第四对准部分。本发明还提供了重合标记的测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 重合 标记 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
一种重合标记，包括：第一部件，仅沿第一纵向延伸；第二部件，沿与所述第一纵向不同的第二纵向延伸；以及第三部件，沿所述第一纵向和所述第二纵向延伸；其中，所述第一部件位于第一层中，所述第二部件位于所述第一层上方的第二层中，并且所述第三部件位于所述第二层上方的第三层中。
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